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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
分光エリプソメータ 産業技術総合研究所 微細加工 この分光エリプソメーター装置は、190~826nm(1.5~6.5eV)の波長範囲における入射光と反射光の偏光状態の変化を測定し、解析作業を行うことで、薄...
単波長エリプソメータ 産業技術総合研究所 微細加工 主に薄膜の膜厚や光学定数の測定に利用する装置です。サンプル表面に光を入射させ、その反射光の偏光状態を計測することにより膜厚や光学定数...