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18件中、1件目~18件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
スパッタ(金属、絶縁体)蒸着装置 豊田工業大学 微細加工 芝浦エレテックCFS-4ES・平行平板型・ターゲット現有(Ti,Al,Ag,Pd,SiO2,Al2O3,SiN,Au)...
電子ビーム(金属)蒸着装置 豊田工業大学 微細加工 日本真空EBS-10A・Al,Al-Si,Ti,Ni,Feなど(但しAuは不可)...
薄膜形成支援装置群 千歳科学技術大学 分子・物質合成 1. 真空蒸着器    ALS社製 E-100    蒸発源: 8源 (同時蒸着2源)2. 真空蒸着器    アルバック社製&...
ミクロトーム 千歳科学技術大学 分子・物質合成 ライカ社製ULTRACUT UCTクライオスタット付...
スピンコーター 千歳科学技術大学 分子・物質合成 ミカサ社製  1HD7共和理研社製  K-359S1...
物理系ナノ材料 分子物質合成支援 北陸先端科学技術大学院大学 分子・物質合成 物理系ナノ材料の設計・試作・評価...
薄膜作製装置 北陸先端科学技術大学院大学 分子・物質合成 ECRイオンシャワー製膜エッチング装置(株式会社エリオニクス EIS-220) ECR型イオン銃2本(ターゲットスパッタ用/試料ステージアシスト用) ...
太陽電池 分子科学研究所 分子・物質合成 有機薄膜ナノ構造太陽電池の設計・製作・各種評価。有機半導体を用いた有機薄膜太陽電池の作製・評価を支援。結晶析出昇華精製装置による有機...
磁性薄膜作製評価 分子科学研究所 分子・物質合成 超高真空下での磁性薄膜作成・磁気光学Kerr効果によるその場観察評価。紫外レーザー磁気円二色性光電子顕微鏡も利用可。  ...
プラズマ・ガス凝縮クラスター堆積装置 名古屋工業大学 分子・物質合成 日本ビーテック社製、特別仕様 クラスターサイズ  直径3~15nm 直流マグネトロンスパッタリング方式 スパッタ電力  最大500W 基板...
細胞探索マルチアナライザー群 名古屋工業大学 分子・物質合成 電子スピン共鳴装置(日本電子(株)製  JES-RE1X):周波数:8800~9600MHz(Xバンド)出力:0.1μW~200mW可変 原子間力顕微鏡(島津製作所社...
特型表面ナノ構造形成装置 名古屋工業大学 分子・物質合成 ULVAC社製 特型 標準2インチ基板 超斜め入射イオンビームによるマスクレスの表面ナノ構造・ナノドット形成可能 組成制御可能 高分子材料の...
超精密電子材料基板平坦化装置 名古屋工業大学 分子・物質合成 MAT社製 基板直径2インチ以下。場合により8インチまで要応談 小径加工(10mm)であれば0.1度刻みで面方位制御可能 ...
スパッタリング蒸着装置 名古屋工業大学 分子・物質合成 アルバック社製  SPC-2000HCヘリコン波励起スパッタリングRF電源13.56MHz 200W...
パルスレーザーMBE装置(PLD) 大阪大学 分子・物質合成 誠南工業株式会社PLO-020R 【概要】成膜する原料となるターゲットにレーザー光を照射し、高温となったターゲットから原子や分子を蒸発させ、試料...
有機蒸着装置 大阪大学 分子・物質合成 誠南工業株式会社VCH-020R 【概要】有機物を昇華法で基板上に成膜する蒸着装置です。【特徴】2種類の有機物を蒸着源として同時にセット可能です。...
ICP-RFスパッタ装置 大阪大学 分子・物質合成 株式会社アルバックMB02-5002 【特徴】誘導結合型RFプラズマ支援ヘリコン型スパッタ装置です。隔膜式真空計を備えており、プロセスガス圧の高度な...
RFスパッタ装置 大阪大学 分子・物質合成 サンユー電子株式会社SVC-700LRF 【特徴】デポダウン方式のRFマグネトロンスパッタ装置です。ターゲット交換が容易で、金属、酸化物、窒化物など様...