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大分類ものづくり・合成支援  → 大分類一覧を表示
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5件中、1件目~5件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
プラズマ・ガス凝縮クラスター堆積装置 名古屋工業大学 分子・物質合成 日本ビーテック社製、特別仕様 クラスターサイズ  直径3~15nm 直流マグネトロンスパッタリング方式 スパッタ電力  最大500W 基板...
細胞探索マルチアナライザー群 名古屋工業大学 分子・物質合成 電子スピン共鳴装置(日本電子(株)製  JES-RE1X):周波数:8800~9600MHz(Xバンド)出力:0.1μW~200mW可変 原子間力顕微鏡(島津製作所社...
特型表面ナノ構造形成装置 名古屋工業大学 分子・物質合成 ULVAC社製 特型 標準2インチ基板 超斜め入射イオンビームによるマスクレスの表面ナノ構造・ナノドット形成可能 組成制御可能 高分子材料の...
超精密電子材料基板平坦化装置 名古屋工業大学 分子・物質合成 MAT社製 基板直径2インチ以下。場合により8インチまで要応談 小径加工(10mm)であれば0.1度刻みで面方位制御可能 ...
スパッタリング蒸着装置 名古屋工業大学 分子・物質合成 アルバック社製  SPC-2000HCヘリコン波励起スパッタリングRF電源13.56MHz 200W...