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大分類ものづくり・合成支援  → 大分類一覧を表示
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4件中、1件目~4件目を表示しています。

写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
パルスレーザーMBE装置(PLD) 大阪大学 分子・物質合成 誠南工業株式会社PLO-020R 【概要】成膜する原料となるターゲットにレーザー光を照射し、高温となったターゲットから原子や分子を蒸発させ、試料...
有機蒸着装置 大阪大学 分子・物質合成 誠南工業株式会社VCH-020R 【概要】有機物を昇華法で基板上に成膜する蒸着装置です。【特徴】2種類の有機物を蒸着源として同時にセット可能です。...
ICP-RFスパッタ装置 大阪大学 分子・物質合成 株式会社アルバックMB02-5002 【特徴】誘導結合型RFプラズマ支援ヘリコン型スパッタ装置です。隔膜式真空計を備えており、プロセスガス圧の高度な...
RFスパッタ装置 大阪大学 分子・物質合成 サンユー電子株式会社SVC-700LRF 【特徴】デポダウン方式のRFマグネトロンスパッタ装置です。ターゲット交換が容易で、金属、酸化物、窒化物など様...