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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
高輝度In-plane型X線回折装置Smart-Lab(リガク) 東京大学 微細構造解析 □ 主な特長 高輝度X線源 及び In-Planeアームを搭載した試料水平配置高精度ゴニオメータを使用したX線回折装置。 粉末試料測定に適...
超精密三次元構造解析装置SuperLab(リガク) 東京大学 微細構造解析 □ 主な特長 微小フォーカスとCMFミラーにより最高分解能で測定可能 □ 主な仕様 高精度ゴニオメータ:ωと2θ軸は10万分の2度...
分光エリプソメータM-2000DI-T(J.A.Woollam) 東京大学 微細構造解析 □ 主な仕様 測定波長:193~1690nm チャンネル数:690同時計測 回転補償子型 ...
極限環境下電磁物性計測装置PPMS-14LHattt(日本カンタム・デザイン) 東京大学 微細構造解析 □ 主な仕様 14 T超伝導マグネット 温度制御 1.9K~400K 試料空間 25.4mm □主な用途 電気輸送特性評価 磁気特性評価 熱輸送特性...
環境制御マニュアルプローブステーション(東陽テクニカ等) 東京大学 微細構造解析 □ 主な仕様 低温プローブ部:CRX-4(:6K~350K) 高温プローブ部:HCP-401/400(室温~400度) 半導体パラメータ測定部:4200型 誘電体測定部:FCE1...
CADデータ連動3次元機能融合デバイス評価用前処理システムXVision200TB(日立ハイテクノロジーズ) 東京大学 微細構造解析 □ 主な仕様 FIB分解能:4nm@30kV、最大電流45nA SEM分解能:3nm@5kV、加速電圧1~30kV 最大8インチステージ Arビーム照射 W,C,絶縁膜デポ  XeF,...
高分解能走査型分析電子顕微鏡(JSM-7800 Prime) 東京大学 微細構造解析 本体加速電圧:~30kV  二次電子分解能:0.7nm(加速電圧 30 kV),3.0 nm(加速電圧 100 V)倍率:×10(WD40)~500,000プローブ電流:10-12~2×...
高分解能走査型電子顕微鏡(JSM-7000F) 東京大学 微細構造解析 本体加速電圧:0.5~30kV  0.5~2.9kVは10Vステップ可変  2.9~30kVは100Vステップ可変二次電子分解能:1.2nm(加速電圧30kV),3.0nm(加速電圧1...
低真空走査型電子顕微鏡(JSM-6510LA) 東京大学 微細構造解析 本体加速電圧:0.5~30kV  0.5~3.0kVは100Vステップ可変  3~30kVは1kVステップ可変二次電子分解能: 高真空モード:3.0nm(加速電圧30kV)...
低損傷走査型分析電子顕微鏡(JSM-7500FA) 東京大学 微細構造解析 □ 主な特長 ジェントルビーム機能を搭載し加速電圧1kVで1.4nmの高分解能□ 主な仕様 二次電子像分解能:1.0nm(15kV)、1.4nm(1kV) 倍率:&...
粉末X線回折装置SmartLab (3kW) (リガク) 東京大学 微細構造解析 In-Planeアームを搭載した全自動水平型多目的X線回折装置。高温測定用アタッチメントも用意している。...
粉末X線回折装置SmartLab (Kα1)(リガク) 東京大学 微細構造解析 ヨハンソン型Ge結晶によりCu Kα1のみに単色化可能な粉末用全自動水平型多目的X線回折装置。...
クロスセクションポリッシャー(CP)JEOL SM-090010,090020 東京大学 微細構造解析 【仕  様】イオン加速電圧:2 ~ 6 kVイオンビーム径半値幅:500 µm(加速電圧:6kV, 試料:Si)ミリングスピード:1.3 µm/...
精密イオンポリッシャー(PIPS)GATAN Model-691 東京大学 微細構造解析 【仕  様】イオン加速電圧:1 ~ 6 kVイオン入射角:最大±10°真空系:分子ポンプ(MDP)、2段ダイヤフラムポンプ(DP)使用...
ウルトラミクロトーム EM UC7(Leica) 東京大学 微細構造解析 【特  徴】 静電気式ピックアップ法 視認性の高いLED照明システム ユーセントリック動作を搭載した実体顕微鏡 ...
イオンスライサー(IS)JEOL EM-09100IS 東京大学 微細構造解析 □ 主な特長冊状試料にイオン研磨処理を行い、薄膜試料を作製□ 主な仕様・イオン加速電圧:1~8 kV ・傾斜角:最大6°(0.1°刻...
精密イオンポリッシャー(PIPS)JEOL EMD-12210 東京大学 微細構造解析 【特長】 高速イオンミリング:高性能小型ペニング型イオン銃によりビーム径を350μmに絞込み、高速ミリング 角度可変イオン銃:入射角0°...
環境対応型超高分解能電子顕微鏡 JEM-ARM200F Cold FE(JEOL) 東京大学 微細構造解析 □ 主な仕様 加速電圧:200kV以上 分解能:TEM格子像 0.10nmTEM粒子像 0.23nmSTEM明視野格子像 0.136nmSTEM暗視野格子像 0.10nm 倍率:TEM像&nb...
原子分解能元素マッピング構造解析装置 JEM-ARM200F Thermal FE(JEOL) 東京大学 微細構造解析 □ 主な仕様 分解能:TEM格子像 0.10nmTEM粒子像 0.19nmSTEM明視野格子像 0.136nmSTEM暗視野格子像 0.082nm 倍率:TEM像 50~2,000,000倍STEM...
表面構造評価用多機能X線回折装置 ATX-G Ultra18 type (リガク) 東京大学 微細構造解析 4軸ゴニオメータによるin-plain測定 単色化X線によるロッキングカーブ、逆格子マップの作成 最大8インチウェーハの装着が可能 X線出力:18kW...

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