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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
走査型オージェ電子分光装置 物質・材料研究機構 蓄電池基盤 ULVAC-PHI社製 PHI710試料に集束された電子線を照射し、オージェ過程を経て放出された電子の運動エネルギーを検出することで、元素組成および化学...
クロスセクションポリッシャ(CP) 物質・材料研究機構 蓄電池基盤 JEOL社製 IB-09020CPAr+イオンビームと遮蔽板を用いて試料の断面を加工する断面試料作製装置。断面加工モニター用カメラを搭載し、加工状況がリアル...
蓄電池内部解析用インピーダンス測定装置一式 早稲田大学 蓄電池基盤 Solartron社製CELLTEST-8:セルテストシステム8ch(AUX電圧測定、温度測定)、パワーブースター4ch (250W, 1OVPP, 25A)、恒温槽 3台(LU-113消火装置付き1台、SU-2...
蓄電池電極解析用超高精度インピーダンス測定装置一式 早稲田大学 蓄電池基盤 美和製作所社製 グローブボックス:電極測定用および電極解体用グローブボックスそれぞれ2双(アルゴン循環装置,水分計酸素系有り)Solartron社...
i 線露光装置 産業技術総合研究所 微細加工 (株)ニコンテック社製 NSR-2205i12D最大開口数(N.A.)0.63の投影レンズを搭載したi線縮小投影型露光装置。投影レンズはN.A.可変システムを採用し...
電子ビーム描画装置(CRESTEC) 産業技術総合研究所 微細加工 クレステック社製 CABLE_9410TFNA型 ZrO/W熱電界放射型電子銃 加速電圧50kV ビーム電流0.1nA(デフォルト値) 描画可能な最小線幅10nm(レジスト...
反応性イオンエッチング装置(RIE) 産業技術総合研究所 微細加工 平行平板型カソードカップル方式のプラズマエッチング装置です。エッチングガスとしてSF6,CF4,O2を使用することができます。サンプルサイズは最大&...
集束イオンビーム加工観察装置(FIB) 産業技術総合研究所 微細加工 日立ハイテクノロジーズ社製FB-2100 (大電流及び低加速電圧対応)型ガリウムイオンビームを集束/走査することで、SIM(Scanning Ion Microscopy...
アルゴンミリング装置 産業技術総合研究所 微細加工 伯東社製  イオンビームミリング装置イオンガンで発生させたArイオンビームを試料に照射することで、エッチングを行います。反応性イオン...
スパッタ成膜装置(芝浦) 産業技術総合研究所 微細加工 芝浦メカトロニクス製CFS-4EP-LL型  ロードロック付RFマグネトロン・サイドスパッタ方式   スパッタ源:3台セット(内1台は強磁性材...
電子ビーム真空蒸着装置 産業技術総合研究所 微細加工 エイコーエンジニアリング社製電子ビーム加熱型蒸着装置高真空中で金属や化合物などの成膜材料へ電子ビームを照射し、発生した蒸発物を基板上...
多目的高速加熱ランプ炉(RTA) 産業技術総合研究所 微細加工 アルバック理工製  Pss/85#/7089_1型赤外線ランプとゴールドミラー集光機構を備えた高速昇温可能な加熱装置です。試料は、石英管内の3インチ...
ワイヤーボンダー 産業技術総合研究所 微細加工 ウエスト・ボンド社製  7400D型この装置は、デバイスチップと、それを装着したチップキャリアーを金(アルミ)のワイヤーで電気的に接続す...
ダイシングソー 産業技術総合研究所 微細加工 Disco社製  DAD522型切断は円形の刃(ブレード)を高速回転させて加工します。この装置では、多段カットも可能です。ブレードを交換すること...
X線回折装置(XRD) 産業技術総合研究所 微細加工 リガク製  Ultima_III    試料水平型  インプレーン測定機構付  傾斜多層膜放物面モノクロメータ付  チャンネル...
微小部蛍光X線分析装置(XRF) 産業技術総合研究所 微細加工 SEA_5210A微小領域エネルギ分散型上面照射方式  分析元素:Na~U  試料形態:固形、薄膜(液及び粉は要許可)  サイズ:最大 ...
ナノサーチ顕微鏡 SPM3〔SFT-3500〕 産業技術総合研究所 微細加工 島津製作所製 SFT_3500型光学顕微鏡と、レーザ顕微鏡(LSM: Laser Scanning Microscope)、走査型プローブ顕微鏡(SPM: Scanning Probe Micr...
走査プローブ顕微鏡 SPM2〔SPM-9600/9700〕 産業技術総合研究所 微細加工 島津製作所製  SPM-9700型試料表面を微小な探針で走査し、表面の三次元形状をスピーディに観察する装置です。分かり易いインターフェイスの...
顕微レーザーラマン分光装置(RAMAN) 産業技術総合研究所 微細加工 Thermo Fisher Scientific社製  DXR-Raman型サンプルにレーザーを照射し、得られるラマン効果を利用して、試料の分子構造や未知物質の同定を...
電界放出形走査電子顕微鏡〔S4800/FE-SEM, HITACHI〕 産業技術総合研究所 微細加工 日立ハイテクノロジー社製、S4800II型  麗陰極電界放出型電子銃  加速電圧0.5kV~30kV  倍率20倍~800k倍  分解能1.0nm(加速...

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