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ナノテクジャパンは、文部科学省「ナノテクノロジープラットフォーム」の一環として、全国の産学官の利用者に対して、
最先端研究施設及び研究支援能力を分野横断的にかつ最適な組合せで提供できる共用システムを構築し、研究課題解決への貢献を目指して活動しております。
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文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム共用設備利用案内サイトへようこそ！ 研究開発に必要な最先端の装置群を日本全国の研究機関から選べます．
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1175件中、261件目～280件目を表示しています。
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分光エリプソメータ | 産業技術総合研究所 | 微細加工 | この分光エリプソメーター装置は、190～826nm（1.5～6.5eV）の波長範囲における入射光と反射光の偏光状態の変化を測定し、解析作業を行うことで、薄... |
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デバイスパラメータ評価装置 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 | アジレントテクノロジー社製4156C型測定分解能: 1fA（±10pAレンジ）φ150×10mm以下の各種試料プローバーシステムと半導体パラメータアナ... |
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多目的エッチング装置（ICP-RIE） | 産業技術総合研究所 | 微細加工 | 放電形式に誘導結合（Inductively Coupled Plasma:ICP） 方式を採用し、 各種材料の超微細加工を高速で行うことを目的とした研究開発用のロード... |
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薄膜エックス線回折装置〔ATX-G, RIGAKU〕 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 | Rigaku製 ATX_G型定格出力50kV,300mA。ソーラースリットを用いたインプーレーン測定。多層膜放物面モノクロメータ付、ゲルマニウム4結晶モノク... |
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マスクレス露光装置 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 | ナノシステムソリューション社製露光パターン発生用の空間光変調器にDMD（Digital Micromirror Device）を用いたマスクレス方式の露光装置です。... |
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プラズマアッシャー | 産業技術総合研究所 | 微細加工 | ヤマト社製 PR500型、最大4インチこの装置は、石英チャンバー内で酸素プラズマを発生させることにより、有機物のフォトレジストをCO2とH2Oに分... |
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UVオゾンクリーナー | 産業技術総合研究所 | 微細加工 | SAMCO社製 UV-1型 UVランプ:110W x 1 （peak wavelength 253.7nm , 184.9nm ） 試料ステージ温調機能:室温～300℃ オゾン発生... |
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抵抗加熱型真空蒸着装置 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 | KIS_3型 抵抗加熱型真空蒸着φ100×10mm以下の各種基板ボート等の抵抗体に金属や化合物などの成膜材料を入れ、電流を流して加熱、蒸発... |
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プラズマCVD薄膜堆積装置（TEOS/SiO2） | 産業技術総合研究所 | 微細加工 | サムコ社製TEOS CVD装置。8インチまで対応。本装置は液体ソースを用いたプラズマ化学気相成長装置であり、テトラエトキシシラン（TEOS）を原料... |
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ナノプローバー〔N-6000SS〕 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 | 日立ハイテクノロジー社製N6000型・プローブユニットユニット数:6本（探針数）微動範囲:5um（X,Y軸）粗動範囲:5mm（X,Y軸）駆動方式:ピエゾ素子使用・... |
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原子層堆積装置〔FlexAL〕 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 | オックスフォードインストゥルメンツ社製FlexAL型 金属や半導体、誘電体材料のナノ薄膜の作製に用いる装置です。 モデル名はFlexAL です。 基... |
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短波長レーザー顕微鏡〔OLS-4100〕 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 | 非接触でサンプルの3次元表面形状の観察・測定が可能なレーザー顕微鏡です。複雑な微細形状の測定に優れ、斜面の観察性に優れています。電動... |
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磁気特性測定システム（MPMS） | 産業技術総合研究所 | 微細加工 | カンタムデザイン社製SQUID（超伝導量子干渉素子）を利用した高感度磁気特性評価装置です。DC磁化測定、AC磁化測定、振動式高感度磁化（RSO）測定... |
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二次イオン質量分析装置（D-SIMS） | 産業技術総合研究所 | 微細加工 | アルバックファイ社製ADEPT-1010型試料にイオンを照射し、試料表面からスパッタリング放出される二次イオンを質量分析することによって深さ方向の... |
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エックス線光電子分光分析(XPS)装置 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 | KRATOS ANALYTICAL / （株）島津製作所 X線源 Rowland 円直径 500mm モノクロメータ付Al Kα （1486.6 eV） 光電子分光器&nbs... |
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触針式段差計 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 | Alpha-Step IQ型□150㎜以内の各種試料先端がダイヤモンドのスタイラス（触針）を用いて、測定物表面を一定の低針圧でなぞり、段差、表面粗さ、... |
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スピンコ―タ― | 産業技術総合研究所 | 微細加工 | ミカサ製1H-DX2型 6インチまで... |
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コンタクトマスクアライナー〔MJB4〕 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 | MJB4型インチサイズ不定形各種基板5種類の露光モードを持ち、サブミクロン域までの露光や高精度なアライメント露光が可能な、コンタクト方式高性... |
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スクライバー | 産業技術総合研究所 | 微細加工 | 協和理研社製、最大3インチシリコンに対応。（GaAsは不可）... |
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ウェハー酸化炉 | 産業技術総合研究所 | 微細加工 | この装置は、シリコンウエハー表面の酸化膜形成などの熱処理に用います。横型の熱処理炉で、試料室内部はドライまたはウェットな酸素ガス雰囲... |
