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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
スマートウォーターバス〔TB-1N〕 産業技術総合研究所 微細加工 温度設定範囲:室温+5~80℃(加熱のみ)  水槽容量:約2.0l 水槽内寸:214×159×78mm (W×L×H)  センサー:K熱電対 温度制御...
デバイス容量評価装置 産業技術総合研究所 微細加工 ケースレー社製Model 82-WIN、及び アジレントテクノロジーズ社製4284A LCRメータプローバーシステムとC-VメータやLCRメータから構成されてお...
反転露光用全面UV照射装置 産業技術総合研究所 微細加工 露光源 : ウシオ電機マルチライト 超高圧水銀ランプ 主波長 : 365nm(i線) 照度 : 約32mW/cm2 露光モード : コンタク...
メッキ装置 産業技術総合研究所 微細加工 株式会社山本鍍金試験器製2inch、4inchシリコンウエハ対応の小型めっき装置です。濾過や加熱、エアー撹拌を行いながらのめっきが可能です。微細配...
ラッピングマシン(CMP) 産業技術総合研究所 微細加工 研磨定盤 外径 300mm、定盤回転速度 10-100 rpm、試料台 外径 100 mm、研磨剤自動供給装置付き、強制駆動エアプレス試料支持----...
レーザー顕微鏡〔VK-8510〕 産業技術総合研究所 微細加工 この装置は、試料にレーザー光を当て、高さの違いにより生じる反射光量の変化から立体形状を測定します。CCDカメラで撮影した映像をテレビモニ...
研磨機 産業技術総合研究所 微細加工 走査型電子顕微鏡(SEM)や走査型プローブ顕微鏡の断面試料作製に利用できます。サンプルの樹脂包埋やサンプルに対してマイクロカッターを用い...
顕微フーリエ変換赤外分光装置 (FT-IR) 産業技術総合研究所 微細加工 赤外分光法を利用し、試料の定性・定量解析を行うフーリエ変換装置です。レーザーラマン同様、コンフォーカル機能を搭載した光学顕微鏡システ...
全焦点顕微鏡 産業技術総合研究所 微細加工 本装置は、産業技術総合研究所とフォトロンの共同開発による製品です。ピント操作をすることなく、被写界深度100μm の超深度全焦点映像によ...
走査プローブ顕微鏡 SPM1〔NanoscopeIV/Dimension 3100〕 産業技術総合研究所 微細加工 この装置では、原子間力顕微鏡(AFM)、磁気力顕微鏡(MFM)測定が可能です。AFMは、基板表面をプローブ探針で走査することにより、表面にある凹...
短波長レーザー顕微鏡〔VK-9700〕 産業技術総合研究所 微細加工 観察対象物に対して前処理が一切不要で、そのままの状態での観察・測定が可能です。観察視野全てに焦点が合った超深度画像での観察が可能で、...
低真空走査電子顕微鏡 産業技術総合研究所 微細加工 低真空モードにおいて、熱電子線源から生じた電子線を試料に照射し、試料表面から反射した電子線を画像データとして読み込み、表面形状を観察...
オゾンクリーナー(SIMS付属) 産業技術総合研究所 微細加工 短波長紫外線で固体の表面改質・乾式洗浄を行うクリーナーです。二種類の短波長紫外線(185、254nm)により空気中の酸素をオゾン化し有機物を除去...
プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN) 産業技術総合研究所 微細加工 本装置は液体ソースを用いたプラズマ化学気相成長装置であり、TEOSからSiO2を、 SN-2(液体有機ケイ素化合物)からSi3N4を成膜することができます。R...
デジタルマイクロスコープ 産業技術総合研究所 微細加工 20~2000倍の範囲で光学観察が可能で、デジタル画像として保存出来るデジタル顕微鏡です。レンズを傾けることが可能なため、様々な方向から試料...
クロスセクションポリッシャ(ALD付帯) 産業技術総合研究所 微細加工 日立ハイテクノロジーズ社製 IM4000[断面ミリングオプション]型 イオンガン(アルゴンビーム照射)と高イオンビーム耐性マスク(金属板)を使用して、...
四探針プローブ抵抗測定装置 産業技術総合研究所 微細加工 4探針プローブ (プローブは試料に応じて交換して使用する)型式 K-89PS40μR, K-89PS150μR材質 タングステンカーバイト針間 1mm針先R 40μmR, 150μmR針圧 ...
化合物半導体エッチング装置(ICP-RIE) 産業技術総合研究所 微細加工 放電形式に誘導結合(Inductively Coupled Plasma:ICP)方式を採用し、各種材料の超微細加工を高速で行うことを目的とした反応性イオンエッチング装置です。...
赤外線ランプ拡散炉(RTA) 産業技術総合研究所 微細加工 温度範囲 RT~1000℃被加熱物 4"ウェーハ 1枚雰囲気 ガスフロー(N2, Ar, O2), 真空中(到達真空度-4乗Pa台)加熱方式 試料上面より放物面反射赤外線輻射加熱...
物理特性測定装置(PPMS) 産業技術総合研究所 微細加工 高感度物理特性評価装置。直流抵抗測定(DC)、Hall抵抗測定等が可能です。ヘリウム再凝縮装置が付設されているため、液体ヘリウムの充填が不要です...

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