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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
組立測定装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 26.比抵抗測定器【国際電気セミコンダクターサービス:VR-30B】抵抗率,シート抵抗等の測定対応試料:~4”Φ四探針式測定オート,マニュアル...
組立測定装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 24.ダイシングソー【DISCO:DAD322】Siウェハ及び難切削材ワークのダイシング対応試料:2”Φ~6”Φ最大対応ブレード径:58㎜Φスピンドル...
組立測定装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 25.ボンディング装置【WEST・BOND:7200CR,747677E】ICチップのダイボンディングICチップとパッケージ間の結線ワイヤー材質:Au,Alワイヤー径:25μmボ...
リソグラフィ装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 13.電子ビーム描画装置【ELIONIX:ELS-7500】EBレジスト超微細描画加工対象:最大5"φウェハまたは5"□試料描画性能:最小線幅 10nm(50kV)加速電圧:5~50k...
ケミカルプロセス装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 10.レーザーマイクロスコープ【KEYENCE:VK-X210】 試料の外観観察,寸法測定観察倍率:×200~×3000光学ズーム:1~8倍総合倍率:×200~×...
組立測定装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 29.デジタルマイクロスコープ【KEYENCE:VHX-2000】試料の外観観察,寸法測定観察倍率:×20~×200     ×250~×2500光源:12V 100W ハロ...
ケミカルプロセス装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 8.UVクリーナー【samco:UV-1】Siウェハ上の有機物汚染除去(O3によるアッシング)処理枚数:1枚光源:紫外線ランプ(110W)最高使用温度:300℃対応試...
ケミカルプロセス装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 9.高速熱処理装置【Allwin 21:AccuThermo AW610】イオン注入後の活性化処理、Poly-Siのアニール、各種熱処理等温度制御範囲:100~1100℃昇温速度:10~150℃/...
ケミカルプロセス装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 12.ドラフトチャンバー【ドラフトチャンバー(ウェットエッチング用局所排気装置)】SiO2,Si,AI等のエッチング、ウェハ洗浄処理枚数:1枚薬品:各種...
リソグラフィ装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 18.両面マスクアライナ【SUSS MicroTec AG:SUSS NA6/BA6(MO)】手動方式両面アライメント露光処理枚数:1枚 コンタクト/プロキシミティ対応対応マスクサ...
リソグラフィ装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 20.超純水製造装置【メルクミリポア:Elix UV 10 Milli-Q Element A10】超純水の供給(能力:1.2L/分)抵抗率:18.3MΩ・cmTOC:0~5ppb...
リソグラフィ装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 21.ドラフトチャンバー【ドラフトチャンバー(現像処理用局所排気装置)】フォトレジストの現像処理処理枚数:1枚薬品:現像液、リンス液、剥離...
リソグラフィ装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 22.EDAツール【Mentor Graphics Japan:Tanner Tools Pro】IC, MEMS用データ設計フォトマスク描画用データ出力構成: L-Edi(t レイアウトエディタ) S-Edi(t 回路...
組立測定装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 27.マニュアルプローバ【日本マイクロニクス:Model-705A】チップの電気特性測定用のシールドボックス/マニピュレータ測定端子数:最大6マニピュレ...
組立測定装置群 北九州産業学術推進機構 微細加工 28.デバイスアナライザ【キーサイト・テクノロジー:B1500A】素子の電気特性測定、マルチ周波数容量測定測定範囲:±200V±1A測定分解能:0.5&...
電子線描画装置 香川大学 微細加工 エリオニクス社製電子線描画装置    ELS-7500EX    加速電圧:50kV、30kV、20kV    描画可能な最小線幅:10nm ...
マスクアライナ 香川大学 微細加工 ミカサ社製片面マスクアライナ    MA-10型    マスクサイズ:2.5~5インチ    ウエハサイズ:10mm~80mm &nb...
真空蒸着装置 香川大学 微細加工 ULVAC社製真空蒸着装置     VPC-1100    到達真空度:5×10-5Pa    成膜実績:Au,Ti,Cr,Al    試...
イオンシャワー 香川大学 微細加工 エリオニクス社製イオンシャワー    EIS-200ER    イオン銃:電子サイクロトロン共鳴(ECR)型    イオン化...
触針式表面形状測定器 香川大学 微細加工 アルバック社製  触針式表面形状測定器 Dektak8 垂直分解能/レンジ:1Å/65kÅ、10Å/655kÅ、40Å/2620kÅ サンプルサイズ:...

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