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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
超高真空・極低温・高磁場SPM 北海道大学 微細構造解析 日本電子製JAFM4500LT    STM/NC-AFM    AFM  光ファイバ干渉方式    液体Heクライオスタット   &...
超高真空AFM 北海道大学 微細構造解析 日本電子社製 JAFM-4500XT  超高真空中において、非接触AFM・STMによる試料表面の原子分解能観察が可能。  試料準備用として、アルゴン...
超高圧電子顕微鏡 北海道大学 微細構造解析 日本電子製JEM-ARM-1300    加速電圧：1300kV（常用1250kV）    点分解能：0.12nm    イオン加速器二基接続：400kV系...
200kV分析電子顕微鏡 北海道大学 微細構造解析 日本電子製JEM-2010F    加速電圧：200kV    分析機能：EDS、EELS、GIF、STEM    電界放射銃搭載：...
超薄膜評価装置 北海道大学 微細構造解析 日立ハイテク製HD-2000    加速電圧：200kV    分析機能：EDS, EELS  ...
環境セル対応電子顕微鏡システム 北海道大学 微細構造解析 日本電子製JEM-2010    加速電圧：200kV    分析機能：EDS    環境セル加熱ホルダー装備...
フィールドエミッション電子プローブアナライザ 北海道大学 微細構造解析 電子プローブマイクロアナライザ・日本電子製FE-EPMA JXA-8530F    加速電圧：1～30kV    分析機能：WDS...
スペクトルイメージング対応高速レーザー共焦点顕微鏡 北海道大学 微細構造解析 ニコン製：A1    420fps（512x16）/33fps（512x512）    スペクトルイメージング対応    405nm励起光   &nb...
オージェ電子分光装置 北海道大学 微細構造解析 日本電子製JAMP-9500F      二次電子分解能3nm（最小）    オージェ分析プローブ径8nm（最小）    反射...
X線光電子分光装置 北海道大学 微細構造解析 日本電子製JPS-9200      標準X線源Mg/Alツインアノード    モノクロX線源（Al-Ka）    分解能0.65eV（モノ...
スピンSEM 北海道大学 微細構造解析 エイコーエンジニアング・北大共同開発    加速電圧：30KV    阻止電極型スピン分析装置    10～60KeV超高真...
超高真空STM・スピン偏極STM装置 北海道大学 微細構造解析 オミクロン社製STM/AFM, VT-STM    探針クリーニング機構    スピン検出可能探針作製機構    金属エピタキ...
時間分解光電子顕微鏡システム 北海道大学 微細構造解析 Elmitec社製PEEM＋フェムトレーザー社 Rainbow    空間分解能:4nm    時間分解能：7fs以下    収差補正機能付...
集束イオンビーム加工装置 北海道大学 微細構造解析 日立ハイテク製FB-2100    加速電圧：10kV～40kV    3次元ホルダー及びコントローラー    マイクロサンプリン...
複合ビーム加工観察装置 北海道大学 微細構造解析 日本電子製JIB-4600F/HKD    加速電圧：1～30kV    分析機能：EDS、EBSD、3D観察    像分解能：5nm（30kV）...
イオン研磨装置 北海道大学 微細構造解析 Gatan製PIPS    加速電圧0.1kV～6kV    試料冷却ステージ FIB加工装置（JEM-9320FIB) 切断装置、機械研磨装置、電解研磨装置...
高分解能3次元構造評価装置 北海道大学 微細構造解析 日本FEI：Titan3    収差補正機能（STEM,TEM）    加速電圧：60kV～300kV    分析機能：EDS、ELLS    ...
収差補正走査型透過電子顕微鏡 北海道大学 微細構造解析 日本電子製：JEM-ARM200F    加速電圧：80kV、200kV    分析機能：EDS,ELLS    STEM収差補正機能...
大気中AFM 北海道大学 微細構造解析 エスアイアイ・ナノテクノロジー社製（SPA400） 大気中走査プローブ顕微鏡。AFM、DFMの他に磁気力顕微鏡（MFM)、ケルビンプローブ顕微鏡（SKPF)の測定...
極低温透過電子顕微鏡 京都大学 微細構造解析 日本電子社製JEM-2100F（G5） 加速電圧：200kV 冷却機能：ヘリウムクライオステージ 電子銃：ショットキー型 分解能：0.2 nm ...

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