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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
ICP高密度プラズマエッチング装置 北海道大学 微細加工 サムコ社製:RIE-101iPH    使用ガス:SF6、C4F8、CF4、Ar、O2、CHF3、C3F8    試料サイズ:最大4インチ...
反応性イオンエッチング装置 北海道大学 微細加工 サムコ社製:RIE-10NRV    使用ガス:CF4、Ar、O2、CHF3    試料サイズ:最大8インチ...
ドライエッチング装置 北海道大学 微細加工 アルバック社製:NLD-500    使用ガス:SF6、C4F8、CF4、CHF3、Ar、O2、C3F8    試料サイズ:最大4インチ...
イオンミリング装置 北海道大学 微細加工 アルバック社製:IBE-6000S    使用ガス:Ar    試料サイズ:最大4インチ...
真空紫外露光装置 北海道大学 微細加工 エヌ工房:フォトクリエーターPC-01-H    試料サイズ:最大1インチ...
高分解能電界放射型走査型電子顕微鏡 北海道大学 微細加工 日本電子社製:JSM-6700FT    EDS機能、2探針マイクロプローブ装備    試料サイズ:小片~25mm角...
電子ビーム描画装置 北海道大学 微細加工 エリオニクス社製:ELS-3700    加速電圧:30kV  LaB6    試料サイズ:最大4インチ    円弧スキャン可...
電子ビーム描画装置 北海道大学 微細加工 エリオニクス社製:ELS-7300    加速電圧:30kV  ZrO/W    試料サイズ:最大5インチ    円弧スキャン可...
両面マスクアライナ 北海道大学 微細加工 ズースマイクロテック社製:MA-6    両面、露光精度0.6ミクロン    マスクサイズ:最大7インチ    試料サイ...
ECR加工装置 北海道大学 微細加工 エリオニクス社製:EIS-200ER    使用ガス:CF4、O2、Ar    試料サイズ:最大4インチ...
ICP加工装置 北海道大学 微細加工 エリオニクス社製:EIS-700    使用ガス:CF4、O2、Ar    試料サイズ:20mm角4枚...
超高真空5源ヘリコンスパッタ 北海道大学 微細加工 菅製作所:Av028    試料種類:Cu、Ta、FeNi、IrMn、CoFe    試料サイズ:1インチ x 1インチ...
ALD製膜装置 北海道大学 微細加工 Cambride NanoTech社製:Savannah 100    成膜材料:HfO2, Al2O3, ZrO2    試料サイズ:最大4インチ...
スパッタ 北海道大学 微細加工 アネルバ:社製:SPF-210H    成膜材料:1元、Au、Ni、Al、Cu    DC・RF・逆RF    試料サイズ:5cmx5cm...
EB加熱・抵抗加熱蒸着装置 北海道大学 微細加工 アルバック社製:EBX-8C    蒸着源:EB4元・抵抗加熱2元    蒸着材料:Ti, Au, Al, Pd, Co等...
EB加熱・抵抗加熱蒸着装置 北海道大学 微細加工 菅製作所  :    蒸着源:EB4元・抵抗加熱1元    蒸着材料:Si, Al, Fe, Mo, Au...
FIB加工装置 北海道大学 微細加工 エリオニクス社製:EIP-3300    加速電圧:30kV  Ga    試料サイズ:100φ、回転機構により10mmφx10mm(H)(0~90&d...
環境試験器 北海道大学 微細加工 エスペック社製:SH-221温度範囲-20℃~+150℃・湿度範囲30 ~ 95%...
デジタル顕微鏡 北海道大学 微細加工 ハイロックス社製:KH-7700    倍率:2500    3Dプロファイル・計測・表示...
太陽電池評価システム 北海道大学 微細加工 ワコム電創社製:WXS-156S-L2,AM1.5GMMJIS、IEC規格準拠  CLASS AAA照射強度  :  1(sun)基板サイズ:最大6インチ...

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