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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
エリプソメータ 北海道大学 微細加工 日本分光社製  M-500S(Xe光源    測定波長:350~800nm    試料水平置き)...
ナノカーボン成長炉 北海道大学 微細加工 Nano Device社製  Easy tube sysytem  (基板サイズ:最大2cmx2cm, 成長温度:最大1000℃, 成長ガス:メタン・エチレン・アルゴ...
コンパクトスパッタ装置 北海道大学 微細加工 アルバック製:ACS-4000-C3-HS試料種類:SiO2、Au、Cr等基板サイズ:10mm~4インチ(リフトオフ仕様では25mm角まで)基板加熱機構有り(~550℃)...
ICP高密度プラズマエッチング装置 北海道大学 微細加工 サムコ社製:RIE-101iHS    使用ガス:Xe、Ar、O2、SiCl4、Cl2    試料サイズ:最大4インチ...
超高速スキャン電子線描画装置 北海道大学 微細加工 エリオニクス製:ELS-F130HM    加速電圧:130kV    試料サイズ:最大8インチ   曲面描画機能有り...
半導体薄膜堆積装置 北海道大学 微細加工 パスカル製:パルスレーザー堆積装置    レーザー光源:248nm    基板サイズ:2インチまで(有効製膜範囲:2cm角) &n...
電子線三次元粗さ解析装置 北海道大学 微細加工 エリオニクス社製:ERA-800FE加速電圧:30kV,倍率:20-600,000三次元表面解析(測長)機能:3D断面形状測定、3D表面粗さ解析最大試料寸法:Φ152mm(三次元測...
電子ビーム露光装置 (スピンコータ・ホットプレート・オーブン等を含む) 東京工業大学 微細加工 JEOL JBX-6300SJスポットビーム、ベクタースキャン方式。ビーム径3nm以下(100kV)、最少線幅8nm以下。重ね合わせ精度3nm以下。試料最大150㎜φウエ...
走査型電子顕微鏡 東京工業大学 微細加工 日立S5200   高解像度用インレンズ式  加速電圧1kV~30kV  分解能0.5nm(30kV)~1.7nm(1kV)  倍率X100~X2000K  STEM...
高真空蒸着装置 東京工業大学 微細加工 エイコーエンジニアリング製  ロードロックチャンバ付  6連E-gun6kW 3連EBガン×2到達真空度: 5e-8Torr以下基板サイズ: 最大20...
コンタクト光学露光装置 東京工業大学 微細加工 Süss MA-8・アシスト機能装備、TSA/BSA装備                       ...
リアクテブイオンエッチング装置 東京工業大学 微細加工 サムコ製 RIE-10NR 各種シリコン薄膜(Si, SiO2, poly-Si, Si3N4等)の高精度エッチング装置 グラフィックタッチパネルによる全自動運転 ...
リアクテブイオンエッチング装置 東京工業大学 微細加工 サムコ製 RIE-10NR 各種シリコン薄膜(Si, SiO2, poly-Si, Si3N4等)の高精度エッチング装置 グラフィックタッチパネルによる全自動運転 ...
リアクテブイオンエッチング装置 東京工業大学 微細加工 サムコ製 RIE-10NR 各種シリコン薄膜(Si, SiO2, poly-Si, Si3N4等)の高精度エッチング装置 グラフィックタッチパネルによる全自動運転 最大...
リアクテブイオンエッチング装置 東京工業大学 微細加工 サムコ製ICP-RIE 装置 (ICP-101RF) 使用ガス:CF4, SF6, CH4, H2, O2 4-inchウエハまで対応 ...
プラズマCVD 装置 東京工業大学 微細加工 シリコン酸化膜  サムコPD-240 1 反応器:  SUS304製  内径  340mm 基板加熱機構:抵抗加熱方式  MAX 400℃ ...
高真空蒸着装置 東京工業大学 微細加工 エイコーエンジニアリング製  ロードロックチャンバ付  6連E-gun 6kW 3連EBガン×2 到達真空度: 5e-8Torr以下 基板サイズ: ...
走査型電子顕微鏡 東京工業大学 微細加工 日立S-4500 電界放出型 冷陰極電界放出型電子銃 分解能: 1.5 nm (加速電圧 15 kV WD=4mm) 4.0 nm (加速電圧 1 kV...
低真空 SEM 東京工業大学 微細加工 キーエンス VHX-D510レンズ:  電子式超深度レンズ+光学倍率:  30~5000倍(垂直)、30~2000倍(傾斜)、      ...
スパッタ成膜装置 東京工業大学 微細加工 ケーサイエンス製  電極用スパッタ成膜装置 Arガス利用 Ti, W, TiW電極の成膜可能 ロードロックチャンバ付き 成膜レート ~3nm/mi...

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