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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
スパッタ成膜装置 東京工業大学 微細加工 絶縁膜用・ゲージコントローラ、CDGコントローラ装備   膜厚計装備     スパッタコントローラ装備   SiN、Ta2O3、SiO2&nb...
基板貼付け装置 東京工業大学 微細加工 アユミ工業 VE-07-18 対応基板サイズ:2インチウェハ,2 cm×2 cm角,3 cm×3 cm角 プラズマ反応ガス:Ar, N2, O2  最大プラ...
ウェハ洗浄装置 東京工業大学 微細加工 EVG EVG301 PVA製スポンジブラシ洗浄   メガソニック洗浄(最大振動子出力:40 W)  対応基板サイズ:2インチウェハ/2 cm×2 ...
有機金属気相成長装置 東京工業大学 微細加工 日本酸素製 HR-3246  InP用 ウェハトレイ:石英製2インチウェハトレイ III族材料:TEG,TMG,TMA,TMI,CBr4 V族材料:AsH3(100%),AsH3(1%),PH3(100%),Si2H...
マスクレス露光装置 東京工業大学 微細加工 マスクレス露光装置  大日本科研製  MX-1204DMDによるパターン生成露光、200mm露光サイズ、最小描画画素1um、アライメント精度±0.15um...
電子ビーム露光データ加工ソフトウェア 東京工業大学 微細加工 GenISys BEAMER/  JEOL01,51,52などの日本電子製電子ビーム露光用パターンデータファイルが入出力可能。各露光基板形状に基づいたモンテカルロ...
FIB-SEMデュアルビーム加工観察装置 東京工業大学 微細加工 JEOL製 JIB-4501  FIB部分  Ga 液体金属イオン源、加速電圧  1-30kV,ビーム電流最大60nA以上  SEM部分  加速電圧0.3-...
原子層堆積装置 東京工業大学 微細加工 Ultratech/CamnbridgeNanotech製 FijiF200 ロードロック機構付プラズマ式/サーマル式の両方のモードでの原子層堆積が可能。4プレカーサライン・4プラ...
プラズマCVD装置 東京工業大学 微細加工 シリコン窒化膜/アモルファスシリコンの成膜  住友精密工業  Multiplex-CVD  ...
プラズマCVD 装置 東京工業大学 微細加工 シリコン酸化膜 サムコPD-100ST...
触針式段差計 東京工業大学 微細加工 KLA テンコール P-7...
化合物半導体光素子用酸化炉 東京工業大学 微細加工 最大温度500C(プログラム温調可) 基板サイズ最大2インチ...
スパッタ成膜装置 東京工業大学 微細加工 対向ターゲット式RFスパッタリング(2元)...
ダイシングソー 東京工業大学 微細加工 ディスコ DAD322 φ6インチ 切削可能範囲 x軸160mm y軸162m z軸32.2mm(φ2"ブレード時)  Si用ブレード(NBC-Z1060)以外のブレードは基本自己...
薄膜評価用試料水平型X線回折装置 東京工業大学 微細加工 リガク SmartLab...
フォトルミネッセンス測定装置 東京工業大学 微細加工 ...
光導波路評価装置 東京工業大学 微細加工 ...
C-Vプロファイラ 東京工業大学 微細加工 Bio-rad POLARON PN4400 ワイドバンドギャップ半導体評価も可能...
デジタル顕微鏡 東京工業大学 微細加工 キーエンスVHX- 7000  ハイレゾリューションヘッド : 1/1.7 型 1,222万 画素 CMOSイメージセンサ  総画素 4,168 (H) × 3,062 (V) 実効画素 4,024 (H) × 3,03...
共焦点ラマン顕微鏡 東京工業大学 微細加工 WiTec alpha300R、532 nm レーザー、グレーティング 600 g/mmおよび1800 g/mm(ブレーズ波長 500 nm)、空間分解能 350 nm(XY方向)および900 nm(Z方向)、対物レ...

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