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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
紫外線照射装置 京都大学 微細加工 (株)テクノビジョン社製  LED-4082UV硬化フィルムなどの粘着力を低下させ、 ダイボンディング時のピックアップ性を高める装置基板サイズ&nb...
エキスパンド装置 京都大学 微細加工 (株)テクノビジョン社製  TEX-21BG GR-5ダイシングされたウエハーを粘着フィルムごとX-Y方向に均一に引き伸ばし拡張する装置基板サイズ&n...
ウェッジワイヤボンダ 京都大学 微細加工 ウエスト・ボンド社製  モデル7476ボンディング方式 US/TC/サーモソニック対応ワイヤ 18~50μmΦまでの金線及びアルミ線 スティ...
ボールワイヤボンダ 京都大学 微細加工 ウエスト・ボンド社製 モデル7700Dボンディング方式 US/TC/サーモソニック 対応ワイヤ 18~50μmΦまでの金線 バンプボンディング...
ダイボンダ 京都大学 微細加工 ウエスト・ボンド社製 モデル7200CR銀ペースト,エポキシ材,UV硬化樹脂等の塗布及びチップのピックアンドプレス可能ボンディング方式 荷重圧...
集束イオンビーム/走査電子顕微鏡 京都大学 微細加工 エスアイアイ・ナノテクノロジー(株)社製  NVision40PI高性能FIBとFE-SEMの複合装置SEM分解能  1nm@20kV、2.5nm @1kVFIB分解能  4nm@30k...
超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 京都大学 微細加工 (株)日立ハイテクノロジーズ社製 SU8000 像分解能 1.0nm@15kV  1.4nm@1kV  取得可能像 二次電子像,組成像,透過像,透過暗視野像&nbs...
分析走査電子顕微鏡 京都大学 微細加工 (株)日立ハイテクノロジーズ社製 SU6600分解能 二次電子分解能:1.2nm反射電子分解能:3.0nm試料サイズ MAX Φ150mm x t40mm EDX...
卓上顕微鏡(SEM) 京都大学 微細加工 (株)日立ハイテクノロジーズ Miniscope TM3000倍率 15~30,000倍 試料最大寸法 Φ70mm  試料最大厚さ  50mm...
高速液中原子間力顕微鏡 京都大学 微細加工 (株)生体分子計測研究所社製 MODEL NLV-KS最大スキャンサイズ  XY:2×1.5μm 推奨凹凸高さ 30 nm以下 試料形状例 &Phi...
走査型プローブ顕微鏡システム 京都大学 微細加工 JPKインスツルメンツAG社製  NanoWizard III NW3-XS-0他大気中または液体中でのAFM計測AFM測定と光学測定を同時実行可能(データ重ね合わせ表示可能...
共焦点レーザー走査型顕微鏡 京都大学 微細加工 オリンパス(株)社製 FV1000励起レーザー光源波長 405 nm, 473 nm, 559 nm, 635 nm 共焦点レーザースキャニング蛍光像(...
3D測定レーザー顕微鏡 京都大学 微細加工 オリンパス(株)社製 OLS4000-SAT落射白色LED照明(明視野、微分干渉)やレーザー集光(反射)による表面形状の計測急峻な表面であっても測定可...
全反射励起蛍光イメージングシステム 京都大学 微細加工 オリンパス(株)社製励起レーザー光源:488 nm LD, 561 nm LD2台の電子増幅デジタルCCDカメラを同期して蛍光像取得データ取り込み&nbs...
長時間撮影蛍光イメージングシステム 京都大学 微細加工 オリンパス(株)社製5次元(XYZTλ)の画像取得が可能XY分解能0.1μm...
X線回折装置 京都大学 微細加工 (株)リガク社製  SmartLab-9K試料サイズ  最大Φ8インチ4インチΦの場合はエリアマップ測定が可能組成分析・方位、配向分析・結晶...
分光エリプソメーター 京都大学 微細加工 大塚電子(株)社製 FE-5000測定膜厚範囲 0.1nm~1μm 測定波長範囲 250nm~2000nm サンプルサイズ 200mmx 200mm以上 測定項目・...
光ピンセットシステム 京都大学 微細加工 JPKインスツルメンツAG社製  Nano Tracker NT-O-001他2本のレーザービームによる三次元光トラップが可能最小Force検出 0.3 pN以下 &nb...
ゼータ電位・粒径測定システム 京都大学 微細加工 大塚電子(株)社製 ELSZ-2Plus 測定範囲ゼータ電位:-200~200mV電気移動度:-20×10-4~20×10-4cm2/V・s粒子径:0.6nm~7μm  対応濃度範...
ダイナミック光散乱光度計 京都大学 微細加工 大塚電子(株)社製 DLS-8000DH 動的光散乱法:粒径分布、拡散係数分布測定 静的光散乱法:第二ビリアル係数・重量平均分子量測定・慣性半径...

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