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写真 設備名称 設置機関 研究分野 仕様
多元スパッタ装置 (i-miller) 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー名:芝浦メカトロニクス型番:CFS-4EP-LL (i-miller)用途:金属・絶縁薄膜形成  装置仕様スパッタ方式:DC/RFマグネトロンスパッタ,反応性/2...
高圧ジェットリフトオフ装置 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー名:カナメックス型番:KLO-150CBU用途:リフトオフ、レジスト剥離  装置仕様レジスト膨潤:80℃ NMP溶液レジスト剥離:高圧ジェットNMP溶...
自動エリプソメータ 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー名:ファイブラボ型番:MARY-102FM用途:絶縁膜形成評価  装置仕様光源:632nm He-Neレーザービーム径:0.8mm入射角:50,60,70度試料サイズ:...
触針式表面段差計 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー名:KLA Tencor型番:Alpha Step IQ用途:接触式段差測定  装置仕様分解能:1.19pm (±10umレンジ)/23.8pm (400umレンジ)走査距離:10mm膜厚...
イオンスパッタ 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー名:日立ハイテク型番:E-1045用途:SEM,FIB-SEMの前処理  装置仕様成膜材料:プラチナ/カーボンプラチナ成膜方式:ダイオード放電マグ...
薄膜応力測定装置 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー名:東朋テクノロジー型番:FLX-2000-A用途:薄膜応力測定  装置仕様測定方式:レーザースキャン方式(670nm&750nm半導体レーザー)測定範...
液体窒素プローバーシステム 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー名:サーマルブロック,ケースレーインスツルメンツ型番:SB-LN2PS,4200-SCS用途:77K台から500KまでのI-V特性評価  装置仕様試料冷却方式:...
ICP原子層エッチング装置 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー:Oxford Instruments型番:PlasmaPro 100 Cobra 300 ALE プラズマ励起方式:誘導結合型電源出力:ICP出力 最大3kW/バイアス出力 最大300Wプロセスガス:...
6連自動蒸着装置 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー名:アールデック 型番:ADS-E86 用途:自動金属薄膜形成 装置仕様 蒸着方式:電子銃型 ターゲット:Ti, Cr, Al, Ni, Au, Pt 到達真空度 :10-...
多機能型原子層堆積装置 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー名:サムコ 型番:AD-230LP 用途:多種ALD薄膜形成装置 仕様成膜方式:サーマルまたはプラズマALD 原料:TMA, TDMAT, BDEAS, 他 酸化剤:H2O, O3, O...
赤外線ランプ加熱装置 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー名:アドバンス理工 型番:RTP-6 用途:多目的熱処理プロセス装置 仕様加熱方式:赤外線ランプによる上部片面加熱 加熱温度:1200℃以下...
顕微式自動膜厚測定システム 物質・材料研究機構 微細加工 メーカー名:フィルメトリクス株式会社 型番:F54-XY-200-UV 用途:反射分光膜厚測定 装置仕様 光源:重水素ハロゲンランプ 波長:190-1100nm スポッ...
イオン注入装置 名古屋大学 微細加工 日新電機社製  NH-20SR-WMH加速電圧:5-200kV注入電流1 µA~100 µA...
電気炉 名古屋大学 微細加工 光洋リンドバーグ社製  MODEL272-2温度範囲:400-1100℃...
急速加熱処理装置 名古屋大学 微細加工 AG Associates社製  Heatpulse 610温度範囲:400~1200℃昇温速度:200℃/sec...
薄膜X線回折装置 名古屋大学 微細加工 RIGAKU社製  ATX-GCu Kα線 18kW  多層膜ミラー,Geモノクロメーター付き測定モード:  θ-2θスキャン  ロッキング...
原子間力顕微鏡 名古屋大学 微細加工 Bruker社製 AXS  Dimension3100 スキャン領域:XY方向  約90μm,Z方向  約6μm 試料サイズ:最大150 mmφ-12 mmt 測定モ...
8元マグネトロンスパッタ装置 名古屋大学 微細加工 2インチカソード8本試料サイズ30 mm角RF電源  500 W 2台基板加熱:600℃1 kV Arイオンエッチング機構試料交換室に8サンプルバン...
8元MBE装置 名古屋大学 微細加工 蒸着源:4cc蒸着源4個、2cc蒸着源2個試料サイズ30 mm角高圧電源3台基板加熱:1000℃1kV Arイオンエッチング機構25 kV RHEED表面観察機能...
ECR-SIMSエッチング装置 名古屋大学 微細加工 ECRイオンガン:入江工研社製 RGB-114  マイクロ波入力150 W,加速電圧600 V,イオン照射径30mmSIMS検出器:PFEIFFER社製 EDP400分析質量1...

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