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室温プローバー [HMP-400]

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最終更新日:2025年1月31日
設備ID NM-657
分類 デバイス特性 > 電気特性評価
設備名称 室温プローバー [HMP-400] (Room Temp. Prober [HMP-400])
設置機関 物質・材料研究機構 (NIMS)
設置場所 NIMS並木地区 MANA棟 513号室
メーカー名 ハイソル株式会社 (HiSOL, Inc.)
型番 HMP-400
キーワード 電気測定、デバイス特性、半導体、電気特性評価/ Electrical characterization
仕様・特徴 ・サンプルサイズ:最大4 inch Φ
・マニピュレーター:4本
・半導体パラメータアナライザ:IV 4系統, CV 1系統
・試料台加熱機能
設備状況 共用を終了した設備です
本設備の利用事例 https://nanonet.go.jp/user_report.php?keyword=NM-657
    室温プローバー [HMP-400]
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