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24AT0103
L/S patternに対するALD-SiO2 processを用いた埋め戻しによるPattern size低減の検討
2025.6.10
産業技術総合研究所
24AT0104
ステッパ露光適用によるセンサの高精度化検証
2025.6.10
産業技術総合研究所
24AT0106
ジャイロセンサー開発
2025.6.10
産業技術総合研究所
24AT0108
量子デバイスのための3次元実装技術の開発
2025.6.10
産業技術総合研究所
24AT0109
ボトムアップ成長による原子層半導体ラテラルホモ接合の実現
2025.6.10
産業技術総合研究所
24AT0110
カーボンナノチューブの高度な半導体応用方法の開発
2025.6.10
産業技術総合研究所
24AT0112
金型原盤、MEMS等デバイスにおける微細加工技術の検討
2025.6.10
産業技術総合研究所
24AT0113
水素吸蔵合金の表面分析
2025.6.10
産業技術総合研究所
24AT0114
膜転写によるGe1-xSnx OI基板の作成
2025.6.10
産業技術総合研究所
24AT0115
単分子誘電体を実装した電界効果トランジスタ及びキャパシタの開発
2025.6.10
産業技術総合研究所
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