利用報告書 / User's Reports

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【公開日:2025.06.10】【最終更新日:2025.05.12】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24TU0087

利用課題名 / Title

フレキシブル基盤を用いた神経電極の作製

利用した実施機関 / Support Institute

東北大学 / Tohoku Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用(ARIM事業参画者以外)/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】(主 / Main)加工・デバイスプロセス/Nanofabrication(副 / Sub)-

【重要技術領域 / Important Technology Area】(主 / Main)高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed(副 / Sub)-

キーワード / Keywords

セラミックスデバイス/ Ceramic device,MEMS/NEMSデバイス/ MEMS/NEMS device,光リソグラフィ/ Photolithgraphy


利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名(課題申請者)/ User Name (Project Applicant)

竹谷 航大

所属名 / Affiliation

東北大学工学部機械知能・航空工学科

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type

(主 / Main)機器利用/Equipment Utilization(副 / Sub)-


利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

TU-051:ミカサ スピンコータ
TU-054:ホットプレート
TU-056:両面アライナ


報告書データ / Report

概要(目的・用途・実施内容)/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

厚み25 µmの配線をフォトフォーミングにより作製するため、ポジ型厚膜レジストAZ-P4903のパターニングの条件出しを行った。

実験 / Experimental

条件スピンコート:500 rpm 5 sec→1000 rpm(30 µm) 20 ses
プリベーク:80 ℃ 5 min→110 ℃ 5 min
露光:2750, 3000, 3500, 4000, 4500, 5000, 6000 mJ/cm2
(参照データ AZ-P4620 24µmで2400mJ) 10 sec露光、30 sec間隔
現像:TMAH2.38%(専用液はKOH)で30 min
ポストベーク:なし

結果と考察 / Results and Discussion

全てのサンプルでレジストが抜けきらず、露光量5000、6000 mJ/cm2では若干配線部分のレジストが薄くなっていた。原因はレジストの期限が5年ほど過ぎていたこと、露光量不足、現像液を専用の物でなくTMAHで代用したことなどが考えられる。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations


図1. パターニング結果


その他・特記事項(参考文献・謝辞等) / Remarks(References and Acknowledgements)


成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング(DOIのあるもの) / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications:0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents:0件

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