【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.14】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24TU0039
利用課題名 / Title
9GHz超弾性波デバイスの開発
利用した実施機関 / Support Institute
東北大学 / Tohoku Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
成形/ Molding,高周波デバイス/ High frequency device,集束イオンビーム/ Focused ion beam
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
門田 道雄
所属名 / Affiliation
東北大学大学院工学研究科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
山下冬子
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
竹中佳生
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
LiNbO3圧電基板内にAl電極を埋め込むことにより基本波SAWの2.3倍の高次モードSAWが励振される。周波数特性はその溝の側面の傾きや深さに依存するため、形成した溝の側面の傾きや深さを調べることが非常に重要である。
実験 / Experimental
LiNbO3圧電基板内に形成されたAlが埋め込まれた溝側面の傾きと溝の深さを集束イオンビーム加工装置（Versa3D, TU-508）を用いて断面出しをして、SEMで観測と測定を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
溝の側面の傾きや深さによる、周波数特性への影響はおおむね、理論に近い値が得られている (Fig.1,2)。しかし、測定用サンプルはFIBで基板側面を切断しなければならず破壊検査に相当する。切断せずに、測定方法がないか検討中である。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig1-2
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
この研究の一部は総務省SCOPE #JP225002001の支援を受けた。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
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Michio Kadota, 8 GHz Harmonic Surface Acoustic Wave Ladder Filters with Grooved Al Electrode in LiNbO3 Substrate, 2024 IEEE Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium (UFFC-JS), , 1-4(2024).
DOI: 10.1109/UFFC-JS60046.2024.10793809
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
- Michio Kadota, Fuyuko Yamashita, and Shuji Tanaka, “9 GHz Harmonic Surface Acoustic Wave Resonator with Grooved Al Electrodes in LiNbO3”, Proc. Symp., Ultrason. Electron., (2024) 3J3-1.
- 門田道雄、山下冬子、田中秀治、“LiNbO3薄板の厚み縦振動のオーバートーンを利用した9.5 - 12 GHz 音響多層膜構造バルク波共振子,” 圧電材料デバイスシンポジウム, 2025, G-1.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：3件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：2件