利用報告書 / User's Reports

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【公開日:2025.06.10】【最終更新日:2025.05.23】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24UT0235

利用課題名 / Title

ナノ粒子の低ドーズ観察

利用した実施機関 / Support Institute

東京大学 / Tokyo Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】(主 / Main)計測・分析/Advanced Characterization(副 / Sub)-

【重要技術領域 / Important Technology Area】(主 / Main)高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed(副 / Sub)-

キーワード / Keywords

走査型透過電子顕微鏡,ナノ粒子,電子顕微鏡/ Electronic microscope


利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名(課題申請者)/ User Name (Project Applicant)

山下 達也

所属名 / Affiliation

富士フイルム株式会社

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

押川浩之

利用形態 / Support Type

(主 / Main)技術補助/Technical Assistance(副 / Sub)-


利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

UT-004:環境対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡


報告書データ / Report

概要(目的・用途・実施内容)/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

ナノ粒子の構造解析を行うため、東京大学の設備を利用してSTEM-EDS分析を行った。

実験 / Experimental

ナノ粒子分散液をC支持膜付きTEMグリッドに滴下し風乾した試料について、球面収差補正機能、及び高感度EDS分析機能を備えた環境対応型超高分解能電子顕微鏡 (JEM-ARM200F ColdFE (STEM Double SDD)) を用いて、STEM-EDS分析した。

結果と考察 / Results and Discussion

コアシェル構造を持つナノ粒子のSTEM-EDS分析を検討した。通常の高分解能観察条件 (電子線照射量:少) では、ナノ粒子由来の特性X線がわずかに検出されるものの、カウント数が非常に少なく、EDS元素マップでナノ粒子を明瞭に可視化することができなかった。電子線照射量を約30倍に増大したところ、EDSカウント数の増大により、ナノ粒子のコア成分 (元素A) を明瞭に可視化でき、さらにシェル成分 (元素B) がコア成分と異なる分布を持つ様子を捉えることができた。一方、測定後には電子線照射ダメージにより粒子がわずかに変形している様子が観察された。ダメージ抑制とシェル可視化の両立のため、更なる低ドーズ・高感度分析が必要と考察した。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項(参考文献・謝辞等) / Remarks(References and Acknowledgements)


成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング(DOIのあるもの) / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications:0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents:0件

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