【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.23】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24UT0235
利用課題名 / Title
ナノ粒子の低ドーズ観察
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
走査型透過電子顕微鏡,ナノ粒子,電子顕微鏡/ Electronic microscope
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
山下 達也
所属名 / Affiliation
富士フイルム株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
押川浩之
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術補助/Technical Assistance（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
ナノ粒子の構造解析を行うため、東京大学の設備を利用してSTEM-EDS分析を行った。
実験 / Experimental
ナノ粒子分散液をC支持膜付きTEMグリッドに滴下し風乾した試料について、球面収差補正機能、及び高感度EDS分析機能を備えた環境対応型超高分解能電子顕微鏡 (JEM-ARM200F ColdFE (STEM Double SDD)) を用いて、STEM-EDS分析した。
結果と考察 / Results and Discussion
コアシェル構造を持つナノ粒子のSTEM-EDS分析を検討した。通常の高分解能観察条件 (電子線照射量：少) では、ナノ粒子由来の特性X線がわずかに検出されるものの、カウント数が非常に少なく、EDS元素マップでナノ粒子を明瞭に可視化することができなかった。電子線照射量を約30倍に増大したところ、EDSカウント数の増大により、ナノ粒子のコア成分 (元素A) を明瞭に可視化でき、さらにシェル成分 (元素B) がコア成分と異なる分布を持つ様子を捉えることができた。一方、測定後には電子線照射ダメージにより粒子がわずかに変形している様子が観察された。ダメージ抑制とシェル可視化の両立のため、更なる低ドーズ・高感度分析が必要と考察した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件