【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.26】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24UT0340
利用課題名 / Title
当社開発品または製造品の表面分析
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials
キーワード / Keywords
質量分析/ Mass spectrometry,原子層薄膜/ Atomic layer thin film
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
大塚 徹郎
所属名 / Affiliation
富士フイルム株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
竹内 美由紀
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
高空間分解能のNano-SIMS 50Lを用い、金属の高感度分析を検討した。微量の金属も検出でき、高感度な金属分析にNano-SIMSが有効であることがわかった。
実験 / Experimental
表面金属量の異なるSiウェハーについて、表面近傍の金属量を測定した。測定にはCAMECA社製Nano-SIMS 50Lを用いた。一次イオン源としてO-を選択した。下記の測定条件で金属量を測定した。測定面積：50×50 mm2面分解能：256×256 pixel 積算回数：10回
結果と考察 / Results and Discussion
図1に各試料の表面金属量を示す。導入した金属量に応じて、金属検出量も増減し、Siウェハー上ではほぼ検出されなかった。少サンプルの1/10以下でも十分に検出可能な見込みを得た。本手法を実課題への応用を検討する。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1 各金属導入量のSiウェハーの金属検出量
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件