【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.25】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24UT0364

利用課題名 / Title

有機無機薄膜の分析

利用した実施機関 / Support Institute

東京大学 / Tokyo Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

X線回折/ X-ray diffraction,ナノシート/ Nanosheet

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

山賀 英臣

所属名 / Affiliation

日本サムスン株式会社

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

鎌倉吉伸

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

飯盛　桂子,府川　和弘

利用形態 / Support Type

（主 / Main）技術補助/Technical Assistance（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

UT-202：高輝度In-plane型X線回折装置
UT-203：粉末X線回折装置

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

有機無機ハイブリッド薄膜には特異な配向性や電気的特性を有するものが存在し、デバイスの高度集積化、高性能化に寄与することが期待されている。今回はIn-plane方向の測定が可能な高輝度X線回折装置により、基板上に作製した有機無機薄膜について分析を行えるか適用可否を判断することを目的とした。そのために実際に代表的な有機無機薄膜についてそのIn-plane方向、Out-of-plane方向のX線回折測定を行い、構造を調査した。

実験 / Experimental

４インチシリコンウエハー上に有機膜(以下A膜)、無機膜(以下B膜)の多層膜を製膜してサンプルを作製した。この多層薄膜サンプルについてX線回折測定（SmartLab 9kW, SmartLab3kW）を実施した。サンプルの構成をFigure 1.に示す。

結果と考察 / Results and Discussion

XRD測定によって得られたチャートをFigure 2.に示す。図の黒線は膜の組成物を粉末にして測定したXRD結果であり、図の緑線、オレンジ線はそれぞれ基板上薄膜のIn-plane、Out-of-plane方向の測定結果に対応している。オレンジ線（Out-of-plane方向）のチャートは黒線（粉末）のチャートと6.3°、9.5°のピークが共通している一方で、緑線(In-plane方向)のチャートは8.1°のピークが共通している。また、オレンジ線と緑線のチャートで共通するピークは観測されなかった。これは粉末ではランダムな方向に積層していた膜の組成物が、基板上では基板表面と平行に配向して積層していることを示しているものと解釈でき、Figure 1.で示したようなサンプルの構造と良く対応している。以上のことからIn-plane、Out-of-planeのX線回折測定は本研究で扱う有機無機薄膜の分析に適しており、有益な情報を得られると判断した。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

Figure 1. サンプル模式図

Figure 2.基板上有機無機薄膜のXRD結果

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

実験、測定について様々にご助言をいただいた飯盛様ら支援担当者の方々に感謝申し上げます。

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件