【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.01】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24NI0111
利用課題名 / Title
結像系偏向コイルを用いたEELS分光器収差の検討
利用した実施機関 / Support Institute
名古屋工業大学 / Nagoya Tech.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）その他/Others（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
電子顕微鏡/ Electronic microscope,電子分光/ Electron spectroscopy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
治田 充貴
所属名 / Affiliation
京都大学化学研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators Excluding Supporters in the Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Supporters in the Hub and Spoke Institutes
浅香 透
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術補助/Technical Assistance（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
散乱波を結像系の2段偏向系を用いて軸上入射することでエネルギー分解能が劣化せずに実験できるかについて実験を行った。
実験 / Experimental
原子分解能分析電子顕微鏡（NI-001）を使用して、散乱波を分光器内の高角側に1段偏向系で動かした場合にエネルギー分解能が低下しないかどうかを確認し、PLAとImage Shiftを用いることで2段で変更できるかどうかの検証を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
TEM用収差補正器が装備されていない電子顕微鏡の場合、PLAとImageShiftの2段偏向系で電子線は自在に大きな角度範囲で動かせることは確認したが、ColdーFEGの場合は1段偏向でもそもそもエネルギー分解能の顕著な劣化が確認されなかった(図：透過波を大きくずらした時の0 lossスペクトル)。また実験的に、散乱波を軸上入射させるための実験的な指針が今回の実験では分からなかったため、再度実験方法について検討が必要であることが分かった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
透過波を高角度側に大きくずらした時の0lossスペクトル
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件