【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.07】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24NM5384
利用課題名 / Title
ホウ素ドープダイヤモンド電極付き圧力装置を用いた超伝導体探索
利用した実施機関 / Support Institute
物質・材料研究機構 / NIMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation,リソグラフィ/ Lithography,光リソグラフィ/ Photolithgraphy,電子線リソグラフィ/ EB lithography,膜加工・エッチング/ Film processing/etching,トポロジカル量子物質/ Topological quantum matter,原子薄膜/ Atomic thin film,表面・界面・粒界制御/ Surface/interface/grain boundary control,超伝導/ Superconductivity
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
松本 凌
所属名 / Affiliation
物質・材料研究機構
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
高温超伝導酸化物の探索の一環として、酸化物薄膜に対する酸素量変調を行う実験を実施した。
実験 / Experimental
利用者が自機関による実験でLaAlO3基板上にエピタキシャル成膜した、超伝導候補物質であるLa3Ni2O7薄膜に対して、支援機関においてUVオゾンクリーナーを用いたオゾンアニール処理を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
300℃・1時間のオゾンアニール処理によって、La3Ni2O7薄膜の物性が半導体から金属へと変化することが示された。一方で目的であった超伝導の発現は確認できず、薄膜の成膜条件、主に膜厚などの最適化が行われていないためと考えている。今後は薄膜の成膜条件などを最適化することで、超伝導の発現を目指す。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件