【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.23】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24NU0269
利用課題名 / Title
プラズマ照射による機能性材料の表面改質とそのデバイス応用
利用した実施機関 / Support Institute
名古屋大学 / Nagoya Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion
キーワード / Keywords
レーザー加工、プラズマ加工,光デバイス/ Optical Device,走査プローブ顕微鏡/ Scanning probe microscope
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
上原 日和
所属名 / Affiliation
自然科学研究機構 核融合科学研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators Excluding Supporters in the Hub and Spoke Institutes
上原日和,川口晴生
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Supporters in the Hub and Spoke Institutes
加藤剛志
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,機器利用/Equipment Utilization
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
核融合材料の微細加工・表面改質のため、プラズマ照射やレーザー加工によるタングステンの加工検証をおこなっている。本課題では、おもに原子間力顕微鏡を利用して加工試料の表面プロファイル測定をおこなう。
実験 / Experimental
ラゲールガウシアンなどの光渦のフェムト秒レーザーをタングステン基板に照射した。今回は、特に水中での照射をおこない、AFMを用いた加工痕の観察を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
AFMの結果から、フェムト秒照射によって典型的な表面周期構造（LIPSS）が形成されたほか、水中にて直線偏光の光渦ビームを照射した試料において、サブミクロンサイズの特徴的な亜鈴状の加工穴が形成されることを見出した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
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Haruki Kawaguchi, Femtosecond vector vortex laser ablation in tungsten: chiral nano-micro texturing and structuring, Optical Materials Express, 14, 424(2024).
DOI: https://doi.org/10.1364/OME.510141
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件