【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.21】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24AT5026

利用課題名 / Title

超伝導Ｘ線検出器の異なるX線に対する特性評価

利用した実施機関 / Support Institute

産業技術総合研究所 / AIST

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials

キーワード / Keywords

電子顕微鏡/ Electronic microscope,超伝導/ Superconductivity

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

中村 雄

所属名 / Affiliation

埼玉大学大学院理工学研究科

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

藤井 剛,石塚 知明

利用形態 / Support Type

（主 / Main）技術補助/Technical Assistance（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

AT-506：超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM)

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

超伝導トンネル接合 (通称：STJ) 検出器は、現在主流の半導体検出器より高エネルギー分解能、高スループットであり、今後の材料開発への応用が期待される。しかし、現在の検出器は、基板材料由来のノイズが大きく、微量元素分析で問題となっている。このノイズ原因を究明するため、照射するX線のエネルギーを変えながら特性を評価した。

実験 / Experimental

ターゲット材料を変えながら数１００eVから約４ｋeVまでのX線を発生させ、検出器に照射し、応答特性を評価した。

結果と考察 / Results and Discussion

図１にAl-K線を照射した際のX線スペクトルを示す。このようなX線スペクトルを照射するX線のエネルギーを変えながら取得した。ノイズは、X線のエネルギーに特異的なふるまいは無かった。
今後詳細な解析を行うことで、ノイズの発生原因について考察する予定である。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

図1．Al-K線に対するX線スペクトル

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

なし

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件