【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.21】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24AT5043

利用課題名 / Title

Al膜厚を変えた超伝導X線検出器の特性評価

利用した実施機関 / Support Institute

産業技術総合研究所 / AIST

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials

キーワード / Keywords

電子顕微鏡/ Electronic microscope,超伝導/ Superconductivity

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

武藤 陸斗

所属名 / Affiliation

埼玉大学大学院　理工学研究科

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

藤井　剛,石塚　知明

利用形態 / Support Type

（主 / Main）技術補助/Technical Assistance（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

AT-506：超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM)

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

厚い上部電極を持つ超伝導トンネル接合検出器のAl膜厚を変更した際の特性評価

実験 / Experimental

従来、作製されてきた超伝導トンネル接合検出器と異なる設計膜厚で作製を行った素子に対し、SC-SEMを用いてX線照射試験を行った。

結果と考察 / Results and Discussion

図1は異なる設計膜厚の素子についてAl-Kα線に対するX線スペクトルの比較を行ったものである。図１からAl:70nmの構造はAl:140nmの構造より性能がよいことが示され、Al層の膜厚増加はエネルギー分解能の悪化に繋がることが確認された。また、分解能の劣化原因については、今後解明を行っていく予定である。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

図１

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件