【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.10】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24WS0053

利用課題名 / Title

Cultivation of neurons on perforated thin films

利用した実施機関 / Support Institute

早稲田大学 / Waseda Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）計測・分析/Advanced Characterization

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代バイオマテリアル/Next-generation biomaterials（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

高分子系生体材料/ Polymer materials, 薄膜/ Thin films, パリレン/ Parylene,光学顕微鏡/ Optical microscope,リソグラフィ/ Lithography,細胞培養デバイス/ Cell Culture Device,蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation,光リソグラフィ/ Photolithgraphy,膜加工・エッチング/ Film processing/etching

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

梅津 信二郎

所属名 / Affiliation

早稲田大学　創造理工学部　総合機械工学科

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

岩井 翔吾,岡本 耕

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

WS-008：CCP-RIE装置
WS-014：紫外線露光装置
WS-016：レーザー直接描画装置

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

本研究では生体適合性のある有機材料のパリレンを使用した細胞培養のための網状薄膜の作製を目的としている。ガラス基板上に蒸着したパリレン薄膜にフォトリソグラフィを行うことでパターンを描画し、プラズマエッチングを行い目的形状にパリレン薄膜を加工している。また、フォトリソグラフィやプラズマエッチングにおける諸条件を比較検討し、十分な強度を持つ薄膜を作製可能なパラメータを決定することを目指している。

実験 / Experimental

1)     ガラス基板を洗浄し、犠牲層を塗布する。
2)     ガラス基板にパリレンを蒸着する。この作業はNTRC外で行っている。
3)     ポジレジストを塗布し、フォトリソグラフィにて網状パターンを描画する。（WS-014、WS-016）
4)     プラズマエッチングによりパリレン薄膜をパターン通りに加工する。（WS-008）
5)     残留するレジストと犠牲層を除去し、薄膜を基板から剥離する。

結果と考察 / Results and Discussion

作製した線幅10 µmのパリレン薄膜の光学顕微鏡での拡大写真をFig. 1に示す。目的とする線幅とパターン通りの網状薄膜の作製には成功している。しかし強度が不十分であり基板からの剥離や細胞培養作業中での破損が問題となっている。フォトリソグラフィ、プラズマエッチング工程での各パラメータを調整し、十分な膜厚や線幅を確保することや、薄膜の形状を変更し応力集中を軽減することで強度についての改善を行っている。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

Fig. 1　作製したパリレン薄膜の網状パターンの光学顕微鏡写真

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件