【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.01】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24AT0036
利用課題名 / Title
熱電変換材料評価の為の加工および分析
利用した実施機関 / Support Institute
産業技術総合研究所 / AIST
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）革新的なエネルギー変換を可能とするマテリアル/Materials enabling innovative energy conversion（副 / Sub）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials
キーワード / Keywords
熱電材料/ Thermoelectric material,熱電発電/ Thermoelctric Power Generation,蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
村田 正行
所属名 / Affiliation
産業技術総合研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
青山佳代,阿部奈津子
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
郭 哲維
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
未利用廃熱の有効活用を目指して、高効率熱電変換材料の開発に期待が寄せられている。中でもナノ構造熱電変換材料は、高性能化が予想されている。そこで本研究では、ナノ構造材料の作製及び評価と熱磁気効果の測定を進めている。FIB-SEMデュアルビーム装置を利用することで、ナノ構造材料に電極の作製する技術の開発を進めている。
実験 / Experimental
試料上にTi/Auの薄膜を蒸着装置を用いて成膜した。その後、FIB-SEMデュアルビーム装置を利用して、ナノ構造材料への電極形成と、表面の薄膜の分割を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
加工後のナノ構造熱電材料について、全ての電極において電気的に接触していることを確認した。配線作業の中で静電気の為に絶縁してしまった電極があったが、残った電極を用いて、電気抵抗を４端子法で測定することに成功した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件