【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.15】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24AT0146
利用課題名 / Title
ナノカーボン材料に関する研究
利用した実施機関 / Support Institute
産業技術総合研究所 / AIST
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
ナノカーボン/ Nano carbon,ナノチューブ/ Nanotube,蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
坂本 みつ江
所属名 / Affiliation
産業技術総合研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
杉山 和義,郭 哲維
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
カーボンナノチューブを用いたメモリデバイスの開発において、カーボンナノチューブの軸に垂直方向の電気伝導特性を理解することは重要である。本研究ではまず、カーボンナノチューブの垂直方向の電気伝導特性を評価できる試料作製を試みた。
実験 / Experimental
カーボンナノチューブを乗せるための下地の絶縁基板を２種類準備した。1つは熱酸化膜付きｐ+-Si(SiO2=100 nm)基板を１cm角に切断した。もう一つは、石英基板1 cm角を準備した。次に、切断した基板全面に、電子線蒸着法により金/チタン電極を蒸着した。チタンの厚みは20 nm、金の厚みは180 nmとした。蒸着時の基板加熱は行っていない。
結果と考察 / Results and Discussion
下地の絶縁基板上に金属電極を蒸着した、熱酸化膜付き下地基板の光学顕微鏡写真を図１に示す。金属が基板表面に形成されている様子が確認できた。今後は、この基板上にカーボンナノチューブを分散させられるかどうかプロセス開発を行う。加えて、ナノ材料が評価可能な測定の一つである、走査型プローブ顕微鏡での観察を試みたい。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図１ 作成した基板の光学顕微鏡写真
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件