【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.02.27】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24AT0222
利用課題名 / Title
カーボンナノチューブの表面状態の評価
利用した実施機関 / Support Institute
産業技術総合研究所 / AIST
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
ナノカーボン/ Nano carbon,ナノチューブ/ Nanotube,走査プローブ顕微鏡/ Scanning probe microscope
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
藤井 香里
所属名 / Affiliation
産業技術総合研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
飯竹 昌則
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
カーボンナノチューブ表面の官能基分布を明らかにするため、SPM技術を用いた評価を行っている。官能基に由来する信号を高感度で得るためには金属基板を用いる必要がある。EB蒸着による金基板作製を本装置で行った。
実験 / Experimental
シリコン基板（10㎜×10㎜）にAu蒸着した。蒸着速度を低速（0.01nm/s）からはじめ、一定時間経過ののち0.1nm/sに上昇させた。得られた基板の表面状態を、別途AFM測定を行い評価した。
結果と考察 / Results and Discussion
蒸着したAu基板の表面の平坦性をAFM測定によって評価した。さらに、カーボンナノチューブの分散液を作製したAu基板上に塗布し、表面状態の評価を行ったところ、シリコン基板を用いた場合に比べて検出感度が上昇することが分かった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件