【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.15】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24NM0032
利用課題名 / Title
FIBによる樹脂膜および銅配線の断面加工
利用した実施機関 / Support Institute
物質・材料研究機構 / NIMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）マテリアルの高度循環のための技術/Advanced materials recycling technologies
キーワード / Keywords
集束イオンビーム/ Focused ion beam
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
川下 愼也
所属名 / Affiliation
株式会社レゾナック
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
信頼性前後の樹脂膜および銅の断面観察により、剥離・クラックなどの不具合が生じていないか確認することを目的としている。本件は、断面加工のためにFIB装置を利用した。
実験 / Experimental
銅配線上に塗膜した樹脂をサンプルとして、幅50μm、深さ10μmとなるように加工した。加速電圧:30.0kV。ビーム条件：Coarse～Beam9ま での5条件で所定の電流値で加工した。
結果と考察 / Results and Discussion
FIB装置(JIB-4000)を利用した。サンプルは銅配線上に塗膜した樹脂であり、銅配線に対して、垂直に加工した。なお、加速電圧:30.0kVであり、「depo」、「slope」、「Mill」の順に所定の電流値で加工した。加工後にステージを傾けることで、目的物の剥離・クラック有無の状態を観察した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件