【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.08】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24NM0057
利用課題名 / Title
半導体向け固体・液体材料の分析
利用した実施機関 / Support Institute
物質・材料研究機構 / NIMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
核磁気共鳴/ Nuclear magnetic resonance,高品質プロセス材料/技術/ High quality process materials/technique,先端半導体（超高集積回路）/ Advanced Semiconductor (Very Large Scale Integration)
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
池田 創
所属名 / Affiliation
日本エア・リキード合同会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
Oliver Simon,安田 勝徳
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
竹村 太郎
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
半導体デバイスの原料に用いられる有機化合物、有機金属化合物の純度測定を1H-NMRを用いて行った。
実験 / Experimental
半導体デバイスの原料に用いられる有機化合物、有機金属化合物を用いてNMR測定溶液を調製し、1H-NMR測定を行った。得られたNMRスペクトルから化合物に含まれる異性体比率と不純物を測定し純度を算出した。
結果と考察 / Results and Discussion
Material A, Iそれぞれに含まれる異性体に特有のシグナルを特定し、それらの面積比を算出して異性体比率を算出した。また、他の材料について、主シグナル周辺に検出される不純物に起因するシグナルを特定し、これらの面積比から材料の不純物量を算出し、他の分析方法ではできなかった純度測定を、1H-NMRを用いて行うことができた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
NMRによる純度測定の実例(Material A)
NMR測定の実例(material I)
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件