【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.17】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24NM0097
利用課題名 / Title
TEM観察試料作製のためのウルトラミクロトーム利用
利用した実施機関 / Support Institute
物質・材料研究機構 / NIMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マテリアルの高度循環のための技術/Advanced materials recycling technologies（副 / Sub）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials
キーワード / Keywords
資源使用量低減技術/ Technologies for reducing resource usage,ナノ粒子/ Nanoparticles
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
井上 友博
所属名 / Affiliation
信越化学工業株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
鴻田一絵
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
酸化チタン・酸化ケイ素などを含む機能性の無機薄膜が形成された塗膜・樹脂物品・フィルムなどの研究を行っている。これらの無機薄膜の、様々な条件下における塗工厚みや層構成、更に、促進耐候処理した際の表面の劣化状態などを詳細に把握するに当たって、断面方向からのTEM、STEM観察が必要である。一般的なエポキシ樹脂にて包埋されたこれら試料の超薄切片を作製するにあたり、ウルトラミクロトームを利用する。
実験 / Experimental
試料は、酸化チタン・酸化ケイ素・シリコーン等の硬質膜が形成されたPETフィルムやアクリル塗装片などを用いる。これを短冊状に加工した切片をエポキシ樹脂に包埋し、トリミングまで行ったものを用意する。ウルトラミクロトームにて、ダイヤモンドナイフ（持参）を用いて、常温にて約50-100nm前後の超薄切片を作製する。切片はTEM観察用にCuグリッドに拾い、乾燥させたものを別途S/TEMにて観察・分析する予定。
結果と考察 / Results and Discussion
切削速度1mm/sec、膜厚100nmの設定にて、上記エポキシブロックから超薄切片を作成した。別途、TEM観察を実施し、均一な超薄切片が切り出されていることが確認できた。また、目的とする構造物の断面構造も問題無く観察が可能であった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件