【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.08】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24NM0161

利用課題名 / Title

パーマロイ、メトグラスの試料作製

利用した実施機関 / Support Institute

物質・材料研究機構 / NIMS

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

外部利用/External Use

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

薄膜,軟磁性材料

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

明石 桃果

所属名 / Affiliation

芝浦工業大学　工学部材料工学科下条研究室

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

下条雅幸

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

利用形態 / Support Type

（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

NM-509：デュアルビーム加工観察装置
NM-504：200kV電界放出形透過電子顕微鏡（JEM-2100F2）
NM-516：TEM試料作製装置群

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

アモルファス磁性体（メトグラス）と結晶性磁性体（パーマロイ）の磁壁の動きを観察することを目的とした。

実験 / Experimental

デュアルビーム加工観察装置 NB5000とTEM試料作製装置群 PIPS IIを使用し試料を加工した。200kV電界放出形透過電子顕微鏡 JEM-2100F2を使用し予備観察した。

結果と考察 / Results and Discussion

メトグラス薄膜はSIM像によると、おおよその厚さは、150nm~200nm程度になった。トップ(カーボン保護膜)からボトムにかけて厚くなっった。パーマロイ薄膜はSIM像によると、おおよその厚さは、100nm~150nm程度になった。トップ(カーボン保護膜)からボトムにかけて厚くなった。ラメラは曲がり始めた。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件