【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.01】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24NM5192

利用課題名 / Title

嗅覚センサの研究開発

利用した実施機関 / Support Institute

物質・材料研究機構 / NIMS

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

表面・界面・粒界制御/ Surface/interface/grain boundary control,蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation,スパッタリング/ Sputtering

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

吉川 元起

所属名 / Affiliation

NIMS、高分子・バイオ材料研究センター

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

的場 正晃

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

尾崎 康子

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

NM-664：スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #4]
NM-654：触針式プロファイラー [Dektak 6M]

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

嗅覚センサの研究開発のため

実験 / Experimental

金属や半導体など複数の材料を【スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #4]】を使用してガスセンサ用感応膜として成膜。はじめに、材料ごとの成膜条件を検証し、各材料の成膜レートを確認した。こうして蒸着された各材料の膜厚を【触針式プロファイラー [Dektak 6M]】にて確認した。これらの結果を基に、スパッタ装置 [CFS-4EP-LL #4]を用いて多元スパッタでセンサ感応膜を作製した。

結果と考察 / Results and Discussion

各材料の成膜レートを調整することにより、目的とする多元合金薄膜の作製に成功した。一方で、多元スパッタした場合、成分によっては単独で蒸着した場合と異なる成膜レートで蒸着されている可能性があり、今後スパッタ装置の放電条件などのさらなる最適化を実施予定。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件