【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.01】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24NM5327
利用課題名 / Title
走査型プローブ顕微鏡を用いた表面化学の研究
利用した実施機関 / Support Institute
物質・材料研究機構 / NIMS
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
表面・界面・粒界制御/ Surface/interface/grain boundary control,スパッタリング/ Sputtering
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
川井 茂樹
所属名 / Affiliation
物質・材料研究機構
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
吉田 美沙
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
本研究では、基板表面上に吸着させた分子を前駆体として用いて、その構造を表面反応や探針を用いた化学反応により変化させる。その研究に必要な実験装置の熱流入量を改良するために、銅で出来たパーツの表面にスパッタ装置を用いて金コートした。
実験 / Experimental
厚さ２ミリメートル、大きさ２０ミリメートルで、中心に空洞があるパーツの表面上に金コートを行った。金スパッタの条件は、共同設備で使用している一般的なレシピを用いて、１０ナノメートル以上の程度の膜厚になるように蒸着した。
結果と考察 / Results and Discussion
銅素材でできた部品の表面に金をコートすることにより、極低温で動作する装置の熱流量を下げることに成功した。本パーツは超高真空で動作する極低温走査型プローブ顕微鏡に取り付けた。本装置は、単分子レベルで行う表面化学に使用する。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件