【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.13】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24YG0122
利用課題名 / Title
青色レーザー加工によるポリイミド基板の改質
利用した実施機関 / Support Institute
山形大学 / Yamagata Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）加工・デバイスプロセス/Nanofabrication
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）量子・電子制御により革新的な機能を発現するマテリアル/Materials using quantum and electronic control to perform innovative functions（副 / Sub）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials
キーワード / Keywords
デバイス,レーザー,グラフェン,異種材料接着・接合技術/ Dissimilar material adhesion/bonding technology,X線回折/ X-ray diffraction,表面・界面・粒界制御/ Surface/interface/grain boundary control,蒸着・成膜/ Vapor deposition/film formation,光リソグラフィ/ Photolithgraphy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
梅津 和己
所属名 / Affiliation
山形大学大学院有機材料システム研究科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
ポリイミド基板に青色レーザーを照射すると、ポリイミドの化学結合の切断に伴いグラフェン構造が形成されることが知られている（レーザー誘起グラフェンと呼ばれる）。本研究では金箔を表面貼付したポリイミド基板に対し青色レーザーを照射することで、金を担持したレーザー誘起グラフェンが得られるかを、全自動多目的X線回折装置を用いて表面分析した。
実験 / Experimental
金箔を貼付したポリイミド基板を青色レーザーを照射し、レーザー誘起グラフェンを得た。この基板表面を全自動多目的X線回折装置 (SmartLab, X-ray diffractometer)（装置ID：YG-601)を用いて分析し、金の担持の有無を定量評価した。
結果と考察 / Results and Discussion
金箔を介した青色レーザー照射でもレーザー誘起グラフェンの形成を確認できたが、その表面で金を検出できなかった。別途、エネルギー分散型X線分光法（EDX）を用いて金の存在を定性的には確認できたことから、レーザー誘起グラフェン表面の金の量が本装置の検出下限以下の極微量であった可能性が考えられる。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件