【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.21】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24UT0234
利用課題名 / Title
サブnm薄膜の可視化
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
走査型透過電子顕微鏡,サブナノ薄膜,電子顕微鏡/ Electronic microscope
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
山下 達也
所属名 / Affiliation
富士フイルム株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
押川浩之
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
様々なデバイスにおいて微細構造化が進展し、機能制御のため、nm～サブnmオーダーでの構造解析が必要となっている。また、使用される素材も軽元素材料・重元素材料・複合材料と様々で、それらを高いコントラストで可視化する必要がある。本課題では、nm～サブnmオーダーの厚みを持つ薄膜の積層構造材料について、東京大学の設備を利用して断面STEM観察を行った。
実験 / Experimental
薄膜積層試料を自機関の収束イオンビーム加工装置 (FIB) で薄片化し、球面収差補正機能を備えた低加速電圧対応原子分解能走査型透過電子顕微鏡 (NEO ARM) を用いて、STEM観察した。
結果と考察 / Results and Discussion
層A (軽元素材料) と層C (重元素材料) に挟まれた層B (軽元素材料、設計膜厚：0.5～2.5 nm間の3水準) の観察を検討した。通常の環状明視野 (ABF) STEM法や、環状暗視野 (ADF) STEM法では、軽元素材料同士である層Aと層Bにコントラスト差が無く、区別がつかなかった。微分位相コントラスト (DPC) STEM法を用いたところ、層Aと層Cの界面に異なるコントラストの層が観察された。層Bの設計膜厚の変化に応じ、界面層の厚みが変化したことから、nm～サブnm厚の層B由来のコントラスト変化が検出されたものと考察した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件