【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.23】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24UT0294
利用課題名 / Title
接合に関する金属表面分析
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
ハイブリッドボンディング/ Hybrid Bonding,電子顕微鏡/ Electronic microscope
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
王 鑠涵
所属名 / Affiliation
東京大学生産技術研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
成形接合における接合に有利な金属表面構造の変化を研究するため、東京大学共用設備（ARIM）の設備を利用して表面SEM観察を行った。
実験 / Experimental
金属樹脂成形接合とは，金属表面を前処理した後，金型に入れ，射出成形を使い，樹脂を金属に接着する方法となる．接着剤を使わないのが特徴である．先行研究により，金属アルミニウムA5052表面の前処理は，熱水処理での接合が実現した．金属表面構造が熱水処理によって形成された構造を判明するため，高分解能走査型分析電子顕微鏡(JSM-IT800SHL) を用いて観察を行った．観察前，オスミウムコーティングを行った．
結果と考察 / Results and Discussion
熱水処理したA5052アルミ合金表面のSEM像を図1に示す. 1kV以下の低加速電圧で高分解能観察を実現した.金属表面には多孔質の絨毛状構造が見られる.入射電子減速機能を用いない場合と比較して，処理後の金属表面のナノ構造をより微細に示すことに成功した.
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件