【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.27】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24KU0048
利用課題名 / Title
イオンミリングによる透過電子顕微鏡用試料の作製
利用した実施機関 / Support Institute
九州大学 / Kyushu Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マテリアルの高度循環のための技術/Advanced materials recycling technologies（副 / Sub）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed
キーワード / Keywords
耐照射性材料,スピントロニクス,電子顕微鏡/ Electronic microscope,イオンミリング/ Ion milling,電子回折/ Electron diffraction
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
石丸 学
所属名 / Affiliation
九州工業大学大学院工学研究院物質工学専攻
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
五十嵐 拓都,本坊 太一,矢野 皓太
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
我々のグループでは透過電子顕微鏡を用いて、様々な材料の構造解析を行なっている。観察の際には電子線が透過する程の薄い試料の作製が不可欠である。試料の薄片化には研究室で所有するイオンミリングを使用していたが、装置の老朽化のために故障が発生した。そこで、九州大学超顕微解析センターが所有するイオンミリングを使用し、電子顕微鏡試料の作製を行なった。
実験 / Experimental
イオンミリングの時間短縮および損傷を低減するため、トライポッドポリッシャーを用いた機械研磨により試料を10マイクロメータ以下に予め研磨した。機械研磨試料の更なる薄片化をイオンミリングにより行なった。なお、イオンミリング時の温度上昇を避けるため、液体窒素による冷却ステージを用いた。
結果と考察 / Results and Discussion
2日間で6個のイオン照射試料及びスパッタリング試料を断面透過電子顕微鏡試料に加工することができた。所属機関の透過電子顕微鏡により、イオンミリングによる損傷がない良好な電子顕微鏡試料が得られていることが確認された。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件