【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.23】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24UT1262

利用課題名 / Title

微細加工技術による機能性材料の物性に関する研究

利用した実施機関 / Support Institute

東京大学 / Tokyo Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-

キーワード / Keywords

触針段差計、テラヘルツ,フォトニクスデバイス/ Nanophotonics device

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

大越 慎一

所属名 / Affiliation

東京大学理学系研究科化学専攻

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

吉清まりえ,峯尾侑希,奥苑昂誠

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

水島彩子

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

UT-850：形状・膜厚・電気特性評価装置群

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

低周波テラヘルツ波吸収体として作製したフィルム状の電磁波吸収サンプルについて、触針段差計DektakXTを用いて表面の凹凸状態の観察を行った。

実験 / Experimental

低テラヘルツ周波数領域で電磁波吸収を示すプルシアンブルー類似体RbMn[Fe(CN)6]を樹脂中に分散させた4×4 cmの大きさのフィルム状のサンプルを、インピーダンス整合計算に基づいて1 THz付近で極大吸収が観測される厚みを設計し作製した。得られたフィルム状サンプルについて、金属板上に貼り付けた状態で、触針段差計によるプロファイル測定を行った。測定には半径12.5 µm, 針圧1 mgの針を用い、分解能は0.333 µmであった。

結果と考察 / Results and Discussion

作製したフィルム状のサンプル(Fig. 1a)は、Fig. 1bに示すように、顕微鏡観察により、茶色のRbMn[Fe(CN)₆]粒子が樹脂中に存在している様子が見られた。Fig. 1cに触針段差軽により測定した表面状態のプロファイルを示す。RbMn[Fe(CN)₆]粒子に起因すると考えられる細かな起伏が見られた一方、大きな凹凸や厚みの偏りは観測されなかった。同サンプルの他の測定点においても同様のプロファイルが得られた。従って、RbMn[Fe(CN)₆]粒子は大きく凝集せず樹脂中に良く分散していることが明らかとなった。このような薄く軽いフィルム状の吸収体は、テラヘルツ波の応用展開への貢献が期待される。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

Fig.1 (a) Photograph of RbMn[Fe(CN)₆]-dispersed film on the metal plate. (b) Microscopic observation and (c) stylus profile of the surface of RbMn[Fe(CN)₆]-dispersed film.

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

謝辞
本研究では、微細加工プロセスにおいて、東京大学ARIM微細加工部門の三田吉郎先生、水島彩子氏にご協力を頂きました。厚く御礼を申し上げます。

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

1. Yuuki Mineo, Terahertz Wave Absorption of a Rubidium Manganese‐Iron Prussian Blue Phase Transition Material, European Journal of Inorganic Chemistry, 27, (2024).
   DOI: doi.org/10.1002/ejic.202400301
   

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

1. Y. Mineo, K. Nakabayashi, A. Namai, K. Imoto, H. Tokoro, M. Yoshikiyo, and S. Ohkoshi, "THz wave absorption properties of Rb-encapsulated Prussian blue analogue films", 日本化学会 第105春季年会, 大阪, 2025年3月26日予定
2. Kosei Okuzono, Tomu Otake, Yuna Tsuzuo, Marie Yoshikiyo, Asuka Namai, Shin-ichi Ohkoshi, "Development of electromagnetic wave-absorber in the sub-terahertz wave region based on lambda-trititanium-pentoxide" 日本化学会 第105春季年会, 大阪, 2025年3月26日予定

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件