【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.03.31】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24BA0010
利用課題名 / Title
針式表面段差計 Alpha-Step D-500装置による膜厚の観察
利用した実施機関 / Support Institute
筑波大学 / Tsukuba Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
触針式表面形状測定器,エレクトロデバイス/ Electronic device
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
丸本 一弘
所属名 / Affiliation
筑波大学数理物質系
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
佐藤睦,Chen Yizou,内海雄太,金子慎太郎
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
本研究室で作製している各種有機薄膜デバイス（有機系太陽電池、有機トランジスタ、有機ELデバイス）では、所望の特性を実現には、膜厚の制御が不可欠である。膜厚の制御は塗布溶液の濃度やスピンコートの回転速度により制御できる。これらのデバイス作製レシピの最適化のために、接触式段差計を用いて膜厚の測定を行った。
実験 / Experimental
以下に代表される各種薄膜をスピンコート法により作製し、それらの膜厚を測定した。
・Glass/Super-Yellow
・Glass/Pb-based perovskite
・Glass/SnO2
・Glass/PM6, Glass/PTB7
・Glass/Y6（30 nm）
・Glass/Y6
結果と考察 / Results and Discussion
作製した薄膜の膜厚測定から、以下の結果を得た。
・Glass/Super-Yellow（120 nm）
・Glass/Pb-based perovskite（600 nm）
・Glass/SnO2（30 nm）
・Glass/PM6, Glass/PTB7（40 nm）
・Glass/Y6（30 nm）
これらの膜厚の測定値は目標の膜厚に近いことが明らかになり、この知見はデバイス作製方法の最適化に使用した。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1 Super-Yellow薄膜の膜厚測定例
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件