【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.03.24】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24BA0051
利用課題名 / Title
XPS装置を利用した機能性材料の特性解析
利用した実施機関 / Support Institute
筑波大学 / Tsukuba Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
光デバイス/ Optical Device,電子分光/ Electron spectroscopy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
柳澤 正弘
所属名 / Affiliation
住友化学株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
亀井 恒,伊藤 陽子,谷口 旺
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
岡野 彩子
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,技術補助/Technical Assistance
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
BA-026：多機能走査型X線光電子分光分析装置（XPS/UPS）
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
XPS装置を利用して機能性材料の特性解析を行う。特に、感光性機能素材について、LUMOの実測のための分析メソッド確立検討を行う。
実験 / Experimental
ITOを塗布したガラス基板上に感光性機能素材をスピンコーターを用いて塗布し、測定用試料とした。アルバック・ファイ社PHI VersaProbe4を用いて、XPS／UPS／LEIPSの測定を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
図に試料のLEIPSスペクトル（4回測定の重ね描き）を示す。スペクトルは取得できたことから、試料の測定自体は可能であることがわかった。一方で、LEIPS測定前後のXPSスペクトルから、LEIPS測定中に試料が分解していることが強く示唆された。今後、分解を抑制できるような測定条件を検討する。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図 感光性機能素材のLEIPSスペクトル
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件