【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.15】

課題データ / Project Data

課題番号 / Project Issue Number

24KU1031

利用課題名 / Title

修正表面活性化接合を用いたLiNbO₃とSiCの室温準直接接合

利用した実施機関 / Support Institute

九州大学 / Kyushu Univ.

機関外・機関内の利用 / External or Internal Use

内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)

技術領域 / Technology Area

【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）物質・材料合成プロセス/Molecule & Material Synthesis（副 / Sub）-

【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed

キーワード / Keywords

セラミックスデバイス/ Ceramic device,エレクトロデバイス/ Electronic device,原子層薄膜/ Atomic layer thin film,赤外・可視・紫外分光/ Infrared/visible/ultraviolet spectroscopy

利用者と利用形態 / User and Support Type

利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)

松延 晃生

所属名 / Affiliation

九州大学工学部電気情報工学科

共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes

ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes

井手 奈都子

利用形態 / Support Type

（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-

利用した主な設備 / Equipment Used in This Project

KU-505：紫外可視近赤外分光測定装置装置群

報告書データ / Report

概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)

実験 / Experimental

SAB法によるLiNbO₃/SiCの接合体と、Fe中間層を用いた改良SAB法によるLiNbO₃/SiCの接合体において、Fe中間層の有無による透過率を分光光度計により測定する。

結果と考察 / Results and Discussion

LiNbO₃/SiC接合体の透過率に、Fe中間層の有無による差はほとんどなかった。これはFe中間層が約3nmという極薄膜であったため、影響が小さかったからであると考えられる。また、LiNbO₃がSiCよりも透過しやすいため、SiC単体の透過率と同じような測定結果であった。

図・表・数式 / Figures, Tables and Equations

その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)

成果発表・成果利用 / Publication and Patents

論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)

口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.

特許 / Patents

特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件