【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.03.18】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24AT0260
利用課題名 / Title
透明材料へのレーザー照射による改質層形成
利用した実施機関 / Support Institute
産業技術総合研究所 / AIST
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
石英・ガラス系材料/ Quartz and Glass materials, ラマン分光/ Raman spectroscopy, レーザー加工/ Laser processing,高品質プロセス材料/技術/ High quality process materials/technique,赤外・可視・紫外分光/ Infrared/visible/ultraviolet spectroscopy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
山室 悠香
所属名 / Affiliation
産業技術総合研究所
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
渋谷 直哉
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
本研究では、レーザー照射による透明材料の局所的改質を目的とする。レーザープロセスの有無による改質層の変化を解析・評価するため、顕微ラマン分光分析を実施した。
実験 / Experimental
基礎的検討として、レーザープロセス領域外のガラスサンプルに対し、【NPF065】顕微レーザーラマン分光装置（RAMAN）によるラマンスペクトル測定を行った。波長532 nmの高輝度DPSSレーザーを励起光に用い、対物レンズ倍率100倍，分解能約3 cm-1、ターゲットレンジ50～1000 cm-1、レーザー出力10 mWに設定した。
結果と考察 / Results and Discussion
露光積算回数などの測定条件を変化させ得られた、ガラスサンプルのラマンスペクトルの結果の一例を示す。Fig. 1に測定部画像を、Fig. 2に得られたラマンスペクトルを示す。これらの結果から、ガラスの特徴的なスペクトルが確認された。また、材料改質後に強度の変化が予想される600 cm-1近傍のピークも本測定により確認された。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
Fig.1 Measurement area of glass sample
Fig.2 Raman spectra of glass sample
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件