【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.28】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24UT0330
利用課題名 / Title
電子線敏感材料の原子分解能観察
利用した実施機関 / Support Institute
東京大学 / Tokyo Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
走査型透過電子顕微鏡,電子顕微鏡/ Electronic microscope
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
山下 達也
所属名 / Affiliation
富士フイルム株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
森田真理
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
UT-002：軽元素対応型超高分解能走査透過型電子顕微鏡（Cs-STEM）
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
電子線敏感材料の原子分解能観察は、高空間分解能と低ダメージ観察を両立するため、極めて高い技術レベルが必要である。今回の実験では、電子線照射に強いモデル試料を用いて、球面収差補正機能を備えた走査透過型電子顕微鏡 (STEM) により、軽元素も含めた原子配列の観察が可能か検証した。
実験 / Experimental
C支持膜上のAuナノ粒子、及びイオンスライサにて薄膜化したSrTiO3について、走査透過型電子顕微鏡(JEM-ARM200F Cold FE)による原子分解能観察を行った。
結果と考察 / Results and Discussion
・高角環状暗視野 (HAADF) STEM法を用いた観察により、約4 nmサイズのAu粒子中の原子配列を観察することができた。1つの粒子中でも場所によって原子配列の見え方が異なっており、ナノ粒子中に結晶方位の異なる複数の領域が存在することがわかった。
・電子線の入射方位が[100]晶帯軸となるよう試料傾斜を調整することにより、SrTiO3のペロブスカイト構造を示す原子配列を観察することができた。HAADF STEM法ではSr原子カラムとTi原子カラム (投影方向に重なったO含む) のみが観察されたが、環状明視野 (ABF) STEM法を用いることで、O原子カラムも観察可能であることがわかった。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件