【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.23】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24NU0097
利用課題名 / Title
二次元半導体材料の構造解析
利用した実施機関 / Support Institute
名古屋大学 / Nagoya Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代ナノスケールマテリアル/Next-generation nanoscale materials（副 / Sub）高度なデバイス機能の発現を可能とするマテリアル/Materials allowing high-level device functions to be performed
キーワード / Keywords
量子効果デバイス/ Quantum effect device,電子顕微鏡/ Electronic microscope,電子回折/ Electron diffraction,高品質プロセス材料/技術/ High quality process materials/technique,エレクトロデバイス/ Electronic device,原子層薄膜/ Atomic layer thin film,電子分光/ Electron spectroscopy
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
鈴木 弘朗
所属名 / Affiliation
岡山大学 学術研究院環境生命自然科学学域
共同利用者氏名 / Names of Collaborators Excluding Supporters in the Hub and Spoke Institutes
徳永 智春
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Supporters in the Hub and Spoke Institutes
樋口 公孝
利用形態 / Support Type
（主 / Main）機器利用/Equipment Utilization（副 / Sub）,共同研究/Joint Research
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
NU-102：高分解能電子状態計測走査透過型電子顕微鏡システム
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
原子層半導体である遷移金属ダイカルコゲナイドの結晶構造解析を目的として研究を行った．
実験 / Experimental
気相化学成長法により単層及び二層のWS2を合成した．それらをTEMグリッド上に転写し観察試料を作製した．この試料の結晶構造をSTEM観測により解析した．
結果と考察 / Results and Discussion
WS2のSTEM観測によって，フラクタル状に成長した二層目の観測に成功した．一層と二層目のスタッキングオーダーに注目し，フラクタル状に成長した二層目が2H構造で積層していることを明らかにした（図１、図２）．光学測定からは2Hだけではなく，3R構造のスタックも示唆されているため，今後3Rドメインの探索を行う必要がある．
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1. フラクタル状二層WS2のSTEM像（低倍率）
図2. フラクタル状二層WS2のSTEM像（高倍率）
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件