【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.04.22】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24TU0231
利用課題名 / Title
微小サンプルの作成
利用した実施機関 / Support Institute
東北大学 / Tohoku Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
内部利用（ARIM事業参画者以外）/Internal Use (by non ARIM members)
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）次世代バイオマテリアル/Next-generation biomaterials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
磁気共鳴力顕微鏡, 毛髪,集束イオンビーム/ Focused ion beam
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
福島 薫
所属名 / Affiliation
東北大学工学部機械知能航空工学科
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
兒玉裕美子
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
磁気共鳴力顕微鏡（MRFM）を用いた毛髪のラジカル密度分布の計測のため、カンチレバーの先端に導電性ペーストで接着した毛髪をXeプラズマFIBで微細加工した。
実験 / Experimental
XeプラズマFIB（TESCAN, AMBERX, TU-521）を使用して、長さ300～400µm、直径70µmの毛髪をおよそ一辺30µmの立方体の大きさまで加工した。
結果と考察 / Results and Discussion
長さ300～400µm、直径70µmあった毛髪を、XeプラズマFIＢを用いておよそ一辺30µmの立方体の微小なサンプルに加工した（図1）。加工において、加速電圧30kVで行うと加工範囲を超えて毛髪が削れてしまい、熱膨張のような現象も起こった。加速電圧を15kV, 120nAに落として加工を行うと少しの膨張は起きるものの想定通りに毛髪を削ることができた。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1. 加工後の微小サンプル
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件