【公開日：2025.06.10】【最終更新日：2025.05.12】
課題データ / Project Data
課題番号 / Project Issue Number
24TU0220
利用課題名 / Title
水晶振動子の導電性接着剤接合状態の分析
利用した実施機関 / Support Institute
東北大学 / Tohoku Univ.
機関外・機関内の利用 / External or Internal Use
外部利用/External Use
技術領域 / Technology Area
【横断技術領域 / Cross-Technology Area】（主 / Main）計測・分析/Advanced Characterization（副 / Sub）-
【重要技術領域 / Important Technology Area】（主 / Main）マルチマテリアル化技術・次世代高分子マテリアル/Multi-material technologies / Next-generation high-molecular materials（副 / Sub）-
キーワード / Keywords
水晶振動子, 導電性接着剤,異種材料接着・接合技術/ Dissimilar material adhesion/bonding technology,集束イオンビーム/ Focused ion beam
利用者と利用形態 / User and Support Type
利用者名（課題申請者）/ User Name (Project Applicant)
渡邉 真
所属名 / Affiliation
古川エヌデーケー株式会社
共同利用者氏名 / Names of Collaborators in Other Institutes Than Hub and Spoke Institutes
浅野慎一
ARIM実施機関支援担当者 / Names of Collaborators in The Hub and Spoke Institutes
今野豊彦
利用形態 / Support Type
（主 / Main）技術代行/Technology Substitution（副 / Sub）-
利用した主な設備 / Equipment Used in This Project
報告書データ / Report
概要（目的・用途・実施内容）/ Abstract (Aim, Use Applications and Contents)
水晶振動子における導電性接着剤の接続エリアの連続的な断面観察により、接続状態の可視化による定量的な分析を行った。
実験 / Experimental
・水晶、導電性接着剤、パッケージ間を縦に縦断する形で、FIB-SEM(TU-521)にて観察を実施した。
・観察した画像データを加工し3D状態で可視化した。
・加工された画像データを観察することで、接続部の出来栄えを観察した。
結果と考察 / Results and Discussion
・従来、水晶、導電性接着剤、パッケージ間の断面観察は、1か所、もしくは数十μm幅で2か所程度の断片的な観察を実施していた。
・観察箇所が限定されることで、断片的なデータの蓄積しかできず、接続状態の定量的な把握が困難だった。
・FIB-SEM(TU-521)での観察により、X軸だけでなく、Y軸、Z軸方向の観察も可能となり、多角的な観察により接続部の立体的な状態の把握ができるようになった。
・広範囲での観察が可能となり、観察条件も把握することができた。
・今後は、電気的特性が異なるサンプルを比較評価することで、電気的特性が異なるメカニズムの分析を実施する。
図・表・数式 / Figures, Tables and Equations
図1 断面
その他・特記事項（参考文献・謝辞等） / Remarks(References and Acknowledgements)
サンプル分析のみならず、メカニズム解明への具体的なアドバイスをいただいた、今野先生にこの場をお借りして感謝申し上げます。
成果発表・成果利用 / Publication and Patents
論文・プロシーディング（DOIのあるもの） / DOI (Publication and Proceedings)
口頭発表、ポスター発表および、その他の論文 / Oral Presentations etc.
特許 / Patents
特許出願件数 / Number of Patent Applications：0件
特許登録件数 / Number of Registered Patents：0件